(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211125769.7 (22)申请日 2022.09.16 (71)申请人 清华大学 地址 100084 北京市海淀区双清路3 0号清 华大学清华园北京 100084-82信箱 (72)发明人 张震　刘义杰　 (74)专利代理 机构 北京路浩知识产权代理有限 公司 11002 专利代理师 张金玲 (51)Int.Cl. B82B 3/00(2006.01) B82Y 40/00(2011.01) (54)发明名称 微纳制备方法及装置 (57)摘要 本发明提供了一种微纳制备方法及装置， 涉 及半导体器件制备领域。 微纳制备方法包括： 获 取目标制备范围与预设制备范围的对比结果； 基 于对比结果， 调整第一运动模块和/或第二运动 模块的运动状态。 本发明提供的微纳制备方法及 装置， 可以实现大范围微纳制备， 提高制备效率 及制备精度。 权利要求书2页 说明书9页 附图6页 CN 115196589 A 2022.10.18 CN 115196589 A 1.一种微纳制备 方法， 其特 征在于， 包括： 获取目标制备 范围与预设制备 范围的对比结果； 基于所述对比结果， 调整第一 运动模块和/或第二 运动模块的运动状态。 2.根据权利要求1所述的微纳制备方法， 其特征在于， 所述获取目标制备范围与预设制 备范围的对比结果的步骤， 包括： 确定所述目标制备 范围小于或等于所述预设制备 范围； 所述基于所述对比结果， 调整第 一运动模块和/或第 二运动模块的运动状态的步骤， 包 括： 调整所述第一 运动模块和所述第二 运动模块中的一个运动。 3.根据权利要求1所述的微纳制备方法， 其特征在于， 所述获取目标制备范围与预设制 备范围的对比结果的步骤， 包括： 确定所述目标制备 范围大于所述预设制备 范围； 所述基于所述对比结果， 调整第 一运动模块和/或第 二运动模块的运动状态的步骤， 包 括： 调整所述第二 运动模块相对于所述第一 运动模块 运动。 4.根据权利要求1所述的微纳制备方法， 其特征在于， 所述获取目标制备范围与预设制 备范围的对比结果的步骤， 包括： 确定所述目标制备 范围大于所述预设制备 范围； 所述基于所述对比结果， 调整第 一运动模块和/或第 二运动模块的运动状态的步骤， 包 括： 调整所述第一 运动模块和所述第二 运动模块同时运动。 5.根据权利要求4所述的微纳制备方法， 其特征在于， 所述获取目标制备范围与预设制 备范围的对比结果的步骤， 包括： 识别与所述目标制备 范围对应的制备路径； 所述基于所述对比结果， 调整第 一运动模块和/或第 二运动模块的运动状态的步骤， 包 括： 基于所述制备路径， 确定所述第一 运动模块和所述第二 运动模块的运动路径。 6.根据权利要求4所述的微纳制备方法， 其特征在于， 所述基于所述对比结果， 调整第 一运动模块和/或第二 运动模块的运动状态的步骤， 包括： 调整所述第一 运动模块沿第一路径运动， 调整所述第二 运动模块沿第二路径运动； 其中， 所述第一路径的最大曲率半径小于所述第二路径的最小曲率半径。 7.一种微纳制备装置， 其特 征在于， 包括： 处理器， 执行计算机程序时实现如权利要求1至 6中任一项所述的微纳制备 方法； 驱动件， 用于调整所述第一 运动模块和/或所述第二 运动模块的运动状态； 所述处理器基于所述目标制备范围与所述预设制备范围的所述对比结果， 确定所述驱 动件的驱动方式。 8.根据权利要求7所述的微纳制备装置， 其特征在于， 所述微纳制备装置还包括视觉观 测模块， 所述视觉观测模块设置在所述第一运动模块朝向所述第二运动模块上的样品的一 侧。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115196589 A 29.根据权利要求7所述的微纳制备装置， 其特征在于， 所述微纳制备装置还包括调节 组 件， 所述调节组件设置在所述第一 运动模块上。 10.根据权利要求7所述的微纳制备装置， 其特征在于， 所述微纳制备装置还包括X向辅 助定位器和Y向辅助定位器， 所述X向辅助定位器和所述Y向辅助定位器均与所述第二运动 模块连接 。 11.根据权利要求7所述的微纳制备装置， 其特征在于， 所述第一运动模块至少包括扫 描探针， 所述第二 运动模块包括 柔性纳米运动台。 12.根据权利要求11所述的微纳制备装置， 其特征在于， 所述扫描探针通过力刻蚀、 电 刻蚀、 氧化刻蚀、 热化学刻蚀、 近原子尺度刻蚀或热刻蚀的方式对样品进行刻蚀。 13.一种电子设备， 包括存储器、 处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运 行的计算机程序， 其特征在于， 所述处理器执行所述程序时实现如权利要求1至6任一项所 述的微纳制备 方法。 14.一种非暂态计算机可读存储介质， 其上存储有计算机程序， 其特征在于， 所述计算 机程序被处 理器执行时实现如权利要求1至 6任一项所述的微纳制备 方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115196589 A 3