(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202220105467.2 (22)申请日 2022.01.14 (73)专利权人 深圳市百代亚星科技有限公司 地址 518000 广东省深圳市光明区玉塘街 道田寮社区田阔路新 发厂4三层(田阔 路1号C栋3楼) (72)发明人 姜学礼　罗雷廷　 (74)专利代理 机构 北京棘龙知识产权代理有限 公司 11740 专利代理师 聂颖 (51)Int.Cl. B62B 3/04(2006.01) B62B 5/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种平稳性高隔热片安全运送装置 (57)摘要 本实用新型适用于隔热片的安全运送装置 技术领域， 一种平稳性高隔热片安全运送装置， 其组成包括、 一种平稳性高隔热片安全运送装 置， 其特征在于， 包括主体， 主体下方设有运输装 置， 主体后侧阵列了若干弹出装置， 弹出装置与 主体螺纹 固定， 弹出装置安装在 主体的第一通孔 处， 主体前侧设有限位装置， 限位装置的限位滑 杆与主体的滑槽相配合， 由于本实用新型主体后 侧设置有回弹件， 且在主体前端设有限位装置， 并且在限位滑杆上设有防撞条， 所以可避免隔热 片在运送的过程中破损， 方便工作人员在搬运隔 热片时着力， 避免人为取放隔热片时隔热片因受 力不均出现磕碰甚至损坏。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 217198255 U 2022.08.16 CN 217198255 U 1.一种平稳性 高隔热片安全运送装置， 其特征在于， 包括主体(1)， 所述主体(1)下方设 有运输装置(2)， 所述主体(1)后侧阵列了若干弹出装置(3)， 所述弹出装置(3)与所述主体 (1)螺纹固定， 所述弹出装置(3)安装在所述主体(1)的第一通孔(4)处， 所述主体(1)前侧设 有限位装置(5)， 所述限位装置(5)的限位滑杆(6)与所述主体(1)的滑槽(7)相配合。 2.根据权利要求1所述的一种平稳性高隔热片安全运送装置， 其特征在于： 所述主体 (1)后侧设有移动把手(8)， 所述移动把手(8)作有倒角处理， 所述主体(1)上侧开有第二通 孔(9)， 所述第二通孔(9)被所述限位装置(5)的限位滑杆(6)穿过， 所述主体(1)内部两侧设 有滑动槽(23)， 所述滑动槽(23)对应每层所述弹出装置(3)， 所述滑动槽(23)内部设有滑动 轮(24)， 所述主体(1)内侧后部设有缓冲层(25)。 3.根据权利要求1所述的一种平稳性高隔热片安全运送装置， 其特征在于： 所述运输装 置(2)的支撑杆(1 1)接于所述主体(1)下侧， 所述支撑杆(1 1)下侧接有滑轮(12)。 4.根据权利要求1所述的一种平稳性高隔热片安全运送装置， 其特征在于： 所述弹出装 置(3)的回弹件(13)接于所述主体(1)后侧， 所述回弹件(13)后侧连接推送块(14)， 所述推 送块(14)作有倒角处 理， 所述推送块(14)中部设有推送杆(15)。 5.根据权利要求4所述的一种平稳性高隔热片安全运送装置， 其特征在于： 所述回弹件 (13)的伸长杆(16)与所述主体(1)相连接， 所述伸长杆(16)后侧连接弹簧(17)， 所述弹簧 (17)被固定套(18)所内嵌， 所述固定套(18)后侧连接在所述推送块(14)上。 6.根据权利要求1所述的一种平稳性高隔热片安全运送装置， 其特征在于： 所述限位装 置(5)的所述限位滑杆(6)下方为半圆形， 所述限位滑杆(6)下侧作有倒角处理， 所述限位滑 杆(6)设有防撞条(2 2)。 7.根据权利要求2所述的一种平稳性高隔热片安全运送装置， 其特征在于： 所述限位装 置(5)的固定螺栓(19)设于所述主体(1)的所述第二通孔(9)下侧， 所述固定螺栓(19)为六 角形。 8.根据权利要求7所述的一种平稳性高隔热片安全运送装置， 其特征在于： 所述固定螺 栓(19)的上侧设有紧固螺栓(20)， 所述紧固螺栓(20)位于所述第二通孔(9)上方， 所述紧固 螺栓(20)固定在螺纹杆(21)上， 所述螺纹杆(21)焊接在所述限位滑杆(6)上。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217198255 U 2一种平稳性高隔热片安全运送装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于隔热片的安全运送装置技术领域， 尤其涉及一种平稳性高隔热片 安全运送装置 。 背景技术 [0002]半导体制造过程中， 需要对晶圆进行热处理， 热处理设置包括反应炉， 在反应炉的 底部设置有热源， 反应炉内设置托盘， 待处理的晶圆放置在托盘上。 为保证热 处理过程中晶 圆受热均匀， 不会直接将托盘放置在热源上， 通常会在热源和托盘之 间设置一个隔热片， 托 盘放置在隔热片上， 使 得晶圆受热均匀。 隔热片为石英材质， 石英材质的隔热片在运送过程 中， 如果遇到颠 簸或磕碰 极易破损， 严重时会造成破碎； 而且隔热片一般包括多片层叠的石 英片， 具有较大的体积， 不方便搬运， 在安装过程中容 易与机台产生碰撞， 导 致隔热片破损。 实用新型内容 [0003]本实用新型提供一种平稳性高隔热片安全运送装置， 旨在解决隔热片运送时不平 稳的问题。 [0004]本实用新型是这样实现的， 一种平稳性高隔热片安全运送装置， 其组成包括主体， 主体下方设有运输装置， 主体后侧阵列了若干弹出装置， 弹出装置与主体螺纹固定， 弹出装 置安装在主体的第一通孔处， 主体前侧设有限位装置， 限位装置的限位滑杆与主体的滑槽 相配合。 [0005]更进一步地， 主体后侧设有移动把手， 移动把手作 有倒角处理， 主体上侧开有第二 通孔， 第二通孔被限位装置的 限位滑杆穿过， 主体内部两侧设有滑动槽， 滑动槽对应每层弹 出装置， 滑动槽内部设有滑动轮.主体内侧后部设有缓冲层。 [0006]更进一步地， 运输装置的支撑杆接 于主体下侧， 支撑杆 下侧接有滑轮。 [0007]更进一步地， 弹出装置的回弹件接于主体后侧， 回弹件后侧连接推送块， 推送块作 有倒角处 理， 推送块中部设有推送杆。 [0008]更进一步地， 回弹件的伸长杆与 主体相连接， 伸长杆后侧连接弹簧， 弹簧被固定套 所内嵌， 固定套后侧连接在推送块上。 [0009]更进一步地， 限位装置的限位滑杆下方为半圆形， 限位滑杆下侧作有倒角处理， 限 位滑杆设有防撞条。 [0010]更进一步地， 限位装置的固定 螺栓设于主体的第二 通孔下侧， 固定 螺栓为六角形。 [0011]更进一步地， 固定螺栓的上侧设有紧固螺栓， 紧固螺栓位于第二通孔上方， 紧固螺 栓固定在螺纹杆 上， 螺纹杆焊接在限位滑杆 上。 [0012]关于实施本实用新型的有益技术效果为： 由于本实用新型主体后侧设置有回弹 件， 且在主体前端设有限位装置， 并且在限位滑杆上设有防撞条， 所以可避免隔热片在运送 的过程中破损， 方便工作人员 在搬运隔热片时着力， 避免人为取放隔热片时隔热片因受力 不均出现磕碰甚至损坏。说　明　书 1/3 页 3 CN 217198255 U 3