(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202220451309.2 (22)申请日 2022.03.02 (73)专利权人 合肥清溢光电有限公司 地址 230000 安徽省合肥市新站区谷河路 与通淮路交口东北角 (72)发明人 魏晖　 (74)专利代理 机构 合肥律众知识产权代理有限 公司 34147 专利代理师 夏舜 (51)Int.Cl. B62B 3/04(2006.01) B62B 5/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种掩膜版检查搬运装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种掩膜版检查搬运装 置， 包括支撑台主体、 滚轮和把手， 还包括 设置在 所述支撑台主体上的直线导轨、 滑动设置在所述 直线导轨 上的夹持机构、 用于驱动所述夹持机构 在所述直线导轨上滑动的驱动机构， 以及固定设 置在所述支撑台主体上的用于支撑掩膜版的支 撑机构； 所述夹持机构包括两相对设置的夹持 臂， 所述夹持臂上设置有用于夹持掩膜版侧边的 夹持块， 所述支撑机构位于两所述夹持臂之间。 通过夹持机构和支撑机构实现掩膜版的支撑和 固定， 保证固定的牢固性。 夹持固定后的掩膜版 呈竖直设置， 方便后期进行射灯目视 检查。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 216886814 U 2022.07.05 CN 216886814 U 1.一种掩膜版检查搬运装置， 包括支撑台主体、 滚轮和把手， 其特征在于： 还包括设置 在所述支撑台主体上 的直线导轨、 滑动设置在所述直线导轨上的夹持机构、 用于驱动所述 夹持机构在所述直线导轨上滑动的驱动机构， 以及固定 设置在所述支撑台主体上的用于支 撑掩膜版的支撑 机构； 所述夹持机构包括两相对设置的夹持臂， 所述夹持臂上设置有用于夹持掩膜版侧边的 夹持块， 所述支撑 机构位于 两所述夹持臂之间。 2.根据权利要求1所述的一种 掩膜版检查搬运装置， 其特征在于： 所述夹持块沿所述夹 持臂长度方向由上至下设置若干个， 且 所述夹持块上设置有夹持槽， 所述夹持槽侧向开口， 两个所述夹持臂上的夹持块 位置一一对应。 3.根据权利要求1所述的一种 掩膜版检查搬运装置， 其特征在于： 所述夹持机构还包括 基座， 所述基座与所述直线导轨滑动连接、 且通过所述驱动机构驱动， 所述基座上设置有用 固定所述夹持臂的固定座， 所述夹持臂上设置有插接在所述基座上的限位销钉。 4.根据权利要求3所述的一种 掩膜版检查搬运装置， 其特征在于： 所述驱动机构包括电 动丝杆和用于开启或关闭所述电动丝杆的脚踏开关， 所述基座与所述电动丝杆 连接。 5.根据权利要求1所述的一种 掩膜版检查搬运装置， 其特征在于： 所述支撑机构包括支 撑座和设置在所述支撑座上 的支撑轮， 所述支撑轮上设置用于卡住掩膜版的卡槽， 所述支 撑座设置为两个， 每 个所述支撑座上设置有两个所述支撑轮。 6.根据权利要求1所述的一种 掩膜版检查搬运装置， 其特征在于： 夹持块内设置有夹 紧 传感器， 所述支撑台主体上设置有夹持臂到位传感器。 7.根据权利要求1所述的一种 掩膜版检查搬运装置， 其特征在于： 所述支撑 台主体两侧 对称设置有锁定机构， 所述锁定机构包括与所述支撑台主体固定的安装板、 固定所述安装 板上的插筒、 设置在所述插筒内的锁定杆， 以及用于限制所述锁定杆位置的限位弹簧。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216886814 U 2一种掩膜版检查搬运装 置 技术领域 [0001]本实用新型掩膜版加工技 术领域， 更 具体地说， 涉及一种掩膜版检查搬运装置 。 背景技术 [0002]光刻掩膜版(Photomask)也称光罩或MASK， 是一种用于微电子制 造过程中的图形 转移工具或模版。 通过曝光、 显影以及蚀刻等工序， 在玻璃铬版上制作需要的微观图形， 主 要应用于微电子平版印刷。 制作掩膜版所使用的原材料为铬版， 其是一种硬面掩膜版材料， 即掩膜版基版， 它是在平整的、 高光洁度的玻璃基版上通过直流磁控 溅射沉积上铬 ‑氧化铬 薄膜而形成铬 膜基版， 再在其上涂敷 一层光致抗蚀剂(又称光刻 胶)制成铬版原料。 [0003]近年来， 随着对半导体产业的投入加大， 光刻掩膜版是整个半导体产业较关键的 一个环节， 随着半导体产业的大力发展， 光刻掩膜版的需求 也随之爆发式的增长 。 [0004]在整个光刻掩膜版的制作流程大致分为铬版清洗， 光刻胶涂布， 烘烤， 膜厚测量， 光刻， 显影， 蚀刻， 脱膜清洗， 镜面清洗， 缺陷检查， CD测量， TP测量， 缺陷修补等环节。 其中在 铬版清洗， 膜厚测量后， 显影， 蚀刻和清洗等各环节都需要对MASK进行检查MURA， 图形完整 性， particle等。 同时在 掩膜版制作的自动化产线中， 如何将原材料(玻璃基版)精 准的搬运 到各生产工序， 方法不一， 大部分都是采用AGV/RGV或者直接采用人工手动搬运。 在使用机 器人搬运时成本较高， 如果采用人工手动搬运则没有办法控制人员自身 带来的part icle等 对掩膜版的污染， 从而造成产品良率下降。 然而即使能够不计成本采用机器人搬运， 那么在 原材料投入以及在生产过程中如何对产品的MURA,图形完整性以及Particle进 行目视射灯 检查也成难点。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的在于提供一种掩膜版检查搬运装置， 既能够满足掩膜版在所有 生产过程中的射灯目视检查， 又能够很好的传递搬运掩膜版， 用以解决上述背景技术中存 在的技术问题。 [0006]本实用新型技术方案一种掩膜版检查搬运装置， 包括支撑台主体、 滚轮和把手， 还 包括设置在所述支撑台主体上 的直线导轨、 滑动设置在所述直线导轨上 的夹持机构、 用于 驱动所述夹持机构在所述直线导轨上滑动的驱动机构， 以及固定设置在所述支撑台主体上 的用于支撑掩膜版的支撑 机构； [0007]所述夹持机构包括两相对设置的夹持臂， 所述夹持臂上设置有用于夹持掩膜版侧 边的夹持块， 所述支撑 机构位于 两所述夹持臂之间。 [0008]在一个优选地实施例中， 所述夹持块沿所述夹持臂长度方向由上至下设置若干 个， 且所述夹持块上设置有夹持槽， 所述夹持槽侧向开口， 两个所述夹持臂上的夹持块位置 一一对应。 [0009]在一个优选地实施例中， 所述夹持机构还包括基座， 所述基座与所述直线导轨滑 动连接、 且通过所述驱动机构驱动， 所述基座上设置有用固定所述夹持臂的固定座， 所述夹说　明　书 1/3 页 3 CN 216886814 U 3