(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123285 659.0 (22)申请日 2021.12.24 (73)专利权人 南京伟测半导体科技有限公司 地址 211806 江苏省南京市浦口区浦口经 济开发区双峰路69号C -93 (72)发明人 刘琨　 (74)专利代理 机构 上海和华启核知识产权代理 有限公司 313 39 专利代理师 王娜娜 (51)Int.Cl. B08B 5/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) B08B 5/04(2006.01) B01D 46/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆清理装置 (57)摘要 本实用新型揭示了一种晶圆清理装置， 包括 操作台， 所述操作台上通过第一安装架安装有至 少两个清理头， 所述清理头上连接有通气管， 所 述通气管远离所述清理头一端通过脚踏压力阀 连接有气体管道。 本实用新型在清理过程中可双 手控制晶圆移动， 保持晶圆清理过程的稳定性。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 216539937 U 2022.05.17 CN 216539937 U 1.一种晶圆清理装置， 其特征在于， 包括操作台， 所述操作台上通过第 一安装架安装有 至少两个清理头， 所述清理头上连接有通气管， 所述通气管远离所述清理头一端通过脚踏 压力阀连接有气体管道。 2.如权利要求1所述的 晶圆清理装置， 其特 征在于， 至少一个气体管道为负压管道。 3.如权利要求2所述的晶圆清 理装置， 其特征在于， 与 所述负压管道连接的所述通气管 上设置有过 滤装置， 所述 通气管在所述过 滤装置的过 滤作用下将内部异 物过滤。 4.如权利要求3所述的晶圆清 理装置， 其特征在于， 所述过滤装置包括安装在所述操作 台上的固定筒， 所述固定筒上连接有通气管， 所述固定筒内部螺纹连接有安装筒， 所述安装 筒上连接有通气管， 所述 安装筒内部设置有至少一个过 滤网袋。 5.如权利要求4所述的晶圆清 理装置， 其特征在于， 所述安装筒外壁通过旋转接头与 所 述通气管连接。 6.如权利要求1所述的晶圆清 理装置， 其特征在于， 所述第 一安装架上均通过第 二安装 架安装有照明灯。 7.如权利要求1所述的 晶圆清理装置， 其特 征在于， 所述操作台上设置有挡板 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216539937 U 2一种晶圆清理装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆加工领域， 特别是 涉及一种晶圆清理装置 。 背景技术 [0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅 晶片， 其原始材料是硅。 高纯度的多晶硅溶 解后掺入硅晶体晶种， 然后慢慢拉出， 形成圆柱形的单晶硅。 硅晶棒在经过研磨、 抛光、 切片 后， 形成硅晶圆片， 也就是 晶圆。 晶圆的主要加工方式为片加工和批加工， 即同时加工一片 或多片晶圆。 随着半导体特征尺寸越来越小， 加工及测量设备越来越 先进， 使得晶圆加工出 现了新的数据特点。 硅晶片在生产完成后， 晶圆表面偶尔会有一些颗粒杂质， 在测试的过程 中如果没有去除， 可能会玷污在针卡的针尖上， 导致测试时针卡针尖变形， 针痕扎边扎出， 测试结果可能通过或不合格， 不能准确检测出 晶片的电气性能， 对后续的产品可靠性和稳 定性有一些影响。 [0003]目前的晶圆清理， 通常为一手通过夹具夹持晶圆， 另一只手拿着气枪， 通过气枪对 晶圆吹气， 将杂质清理出去。 但是在 对晶圆进行清理 时， 单手控制晶圆容易造成晶圆跌落损 坏， 存在一定缺陷。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于， 提供一种晶圆清理装置， 以实现操作人员可双手控制晶 圆， 确保清理过程的稳定性。 [0005]为解决上述技术问题， 本实用新型提供一种晶圆清理装置， 包括操作台， 所述操作 台上通过第一安装架安装有至少 两个清理头， 所述清理头上连接有通气管， 所述通气管远 离所述清理头一端通过脚踏压力阀连接有气体管道。 [0006]进一步的， 至少一个气体管道为负压管道。 [0007]进一步的， 与所述负压管道连接 的所述通气管上设置有过滤装置， 所述通气管在 所述过滤装置的过 滤作用下将内部异 物过滤。 [0008]进一步的， 所述过滤装置包括安装在所述操作台上的固定筒， 所述固定筒上连接 有通气管， 所述固定筒内部螺纹连接有安装筒， 所述安装筒 上连接有通气管， 所述安装筒内 部设置有至少一个过 滤网袋。 [0009]进一步的， 所述 安装筒外壁 通过旋转接 头与所述 通气管连接。 [0010]进一步的， 所述第一 安装架上均通过第二 安装架安装有照明灯。 [0011]进一步的， 所述操作台上设置有挡板 。 [0012]相比于现有技术， 本实用新型至少 具有以下有益效果： 通过脚踏压力阀控制清理 头的吹风或抽风力度， 从而可双手对夹具进行操控来控制晶圆移动， 保持晶圆清理过程的 稳定性， 便于将晶圆上的杂质清除， 可通过与负压管道连接的清理头将杂质吸入， 避免杂质 对环境造成污染； 设置过滤装置将杂质进 行过滤收集， 便于对杂质进 行处理， 且避免杂质进 入负压管道导 致其堵塞。说　明　书 1/3 页 3 CN 216539937 U 3