(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123369782.0 (22)申请日 2021.12.28 (73)专利权人 宁波晶钻工业科技有限公司 地址 315200 浙江省宁波市镇海区庄市街 道中官西路7 77号 (72)发明人 张天翊　张军安　朱海洋　胡付生　 (74)专利代理 机构 广州市越秀区哲力专利商标 事务所(普通 合伙) 44288 专利代理师 李晓阳 (51)Int.Cl. F04B 37/14(2006.01) F04B 39/12(2006.01) F04B 39/14(2006.01) F04B 39/00(2006.01) F16F 15/067(2006.01) (54)实用新型名称 适用于MPCVD生产金刚石的集中式真空抽气 系统 (57)摘要 本实用新型公开了适用于MPCVD生产金刚石 的集中式真空抽气系统， 包括底板， 所述底板上 固定有安装框， 所述安装框上通过缓震降噪机构 连接有大功率真 空泵组， 所述底板上安装有多个 待抽真空设备， 各个所述待抽真空设备上安装有 安装管， 各个所述安装管上连接有连接管， 所述 大功率真空泵组上设置有固定管， 所述连接管与 固定管之间通过安装机构连接； 所述安装机构 包 括固定在连接管一端的法兰盘。 本实用新型的适 用于MPCVD生产金刚石的集中式真空抽气系统， 在对底板上的各个待抽真空设备进行抽真空处 理时， 通过一台大功率真空泵组可以完成对多个 待抽真空设备的抽真空驱动， 降低了设备的成本 且更加便于维护， 便于MPCVD生产金刚石的加工 生产操作。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217300816 U 2022.08.26 CN 217300816 U 1.适用于MPCVD生产金刚石的集中式真空抽气系统， 包括底板(1)， 其特征在于： 所述底 板(1)上固定有安装框(2)， 所述安装框(2)上通过缓震降噪机构连接有大功率真空泵组 (3)， 所述底板(1)上安装有多个待抽真空设备(4)， 各个所述待抽真空设备(4)上安装有安 装管(5)， 各个所述安装管(5)上连接有连接管(6)， 所述大功率真空泵组(3)上设置有固定 管(7)， 所述连接管(6)与固定管(7)之间通过安装机构连接； 所述安装机构包括固定在连接管(6)一端的法兰盘(801)， 所述法兰盘(801)上设置有 多个第一螺栓孔(802)， 所述固定管(7)的一端固定有连接盘(803)， 所述连接盘(803)上开 设有多个滑动槽(804)， 各个所述滑动槽(804)上通过导向组件滑动连接有滑动板(805)， 各 个所述滑动板(805)上开设有第二螺栓孔(806)， 所述第一螺栓孔(802)与第二螺栓孔(806) 之间的数量相互匹配 设置， 相对的两个第一螺栓孔(802)与第二螺栓孔(806)之间通过螺栓 连接， 所述固定管(7)上设置有用于各个第二螺 栓孔(806)中心圆直径调节的调节机构。 2.根据权利要求1所述的适用于MPCVD生产金刚石的集中式真空抽气系统， 其特征在 于： 所述导 向组件包括开设在滑动槽(804)相对的两个内壁上的滑槽(901)， 两个所述滑槽 (901)上滑动连接有与其相匹配的滑块(902)， 两个所述滑块(902)分别与滑动板(805)的两 侧相固定 。 3.根据权利要求1所述的适用于MPCVD生产金刚石的集中式真空抽气系统， 其特征在 于： 所述调节机构包括驱动环(1001)， 所述驱动环(1001)螺纹啮合连接在固定管(7)的侧壁 上， 所述驱动环(1001)靠向连接盘(803)的一侧通过转动组件 连接有环形板(1002)， 所述环 形板(1002)上转动连接有多个传动板(1003)， 各个所述传动板(1003)的另一端分别与各个 滑动板(80 5)转动连接 。 4.根据权利要求3所述的适用于MPCVD生产金刚石的集中式真空抽气系统， 其特征在 于： 所述驱动环(10 01)上设置有防滑凸起(10 04)。 5.根据权利要求4所述的适用于MPCVD生产金刚石的集中式真空抽气系统， 其特征在 于： 所述转动组件包括开设在驱动环(1001)侧壁上的环形槽， 所述环形槽上转动连接有环 形条， 所述环形 条与环形板(10 02)相固定 。 6.根据权利要求1所述的适用于MPCVD生产金刚石的集中式真空抽气系统， 其特征在 于： 所述缓震降噪机构包括滑动连接在安装框(2)上的安装板(1101)， 所述大功 率真空泵组 (3)安装在安装板(1101)上， 所述安装板(1101)的下端固定有固定板(1102)， 所述固定板 (1102)上转动连接有两个相互对称设置的连杆(1103)， 所述安装框(2)的内部固定有 固定 杆(1104)， 所述固定杆(1104)上滑动连接有两个方形板(1105)， 两个所述连杆(1103)的另 一端分别与两个方形板(1105)的一侧转动连接， 所述固定杆(1104)上套设有两个相互对称 设置的第一弹簧(1106)， 所述第一弹簧(1106)的两端分别与方形板(1105)及安装框(2)的 内壁相连接 。 7.根据权利要求6所述的适用于MPCVD生产金刚石的集中式真空抽气系统， 其特征在 于： 所述固定杆(1104)的侧壁上套设有第二弹簧(1107)， 所述第二弹簧(1107)的两端分别 与两个方 形板(1105)相连接 。 8.根据权利要求7所述的适用于MPCVD生产金刚石的集中式真空抽气系统， 其特征在 于： 所述缓震降噪机构设置有 多个， 各个所述缓震降噪机构排列设置在安装框(2)的内部 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217300816 U 2适用于MPCVD生产金刚石的集中式真空抽气系统 技术领域 [0001]本实用新型涉及 MPCVD生产金刚石加工技术领域， 具体为适用于MPCVD 生产金刚石 的集中式真空抽气系统。 背景技术 [0002]MPCVD生产金刚石制作生产的过程中， 现有的真空抽气系统是在每个待抽真空处 理的设备上安装真空泵， 通过多个真空泵分别对各个设备进行抽真空处理， 但多台真空泵 的设置， 提高了MP CVD生产金刚石制作生产的过程中的加工成本， 且不便于对各个真空泵进 行分别维护保养， 进一 步的不便 于MPCVD生产金刚石的加工生产操作。 [0003]因此亟需适用于 MPCVD生产金刚石的集中 式真空抽气系统来 解决上述问题。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供适用于MPCVD生产金刚石的集中式真空抽气系统， 以 解决上述背景技 术中提出的现有的真空抽气系统加工成本高且不便 于维护的问题。 [0005]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 适用于MPCVD生产金刚石的集中 式真空抽气系统， 包括底板， 所述底板上固定有安装框， 所述安装框上通过缓震降噪机构连 接有大功率真空泵组， 所述底板上安装有多个待抽真空设备， 各个所述待抽真空设备上安 装有安装 管， 各个所述安装 管上连接有连接管， 所述大功 率真空泵组上设置有固定管， 所述 连接管与固定管之间通过安装机构连接； [0006]所述安装机构包括固定在连接管一端的法兰盘， 所述法兰盘上设置有多个第一螺 栓孔， 所述固定管的一端固定有连接盘， 所述连接盘上开设有多个滑动槽， 各个所述滑动槽 上通过导向组件滑动连接有滑动板， 各个所述滑动板上开设有第二螺栓孔， 所述第一螺栓 孔与第二螺栓孔之 间的数量相互匹配设置， 相对的两个第一螺栓孔与第二螺栓孔之 间通过 螺栓连接， 所述固定管 上设置有用于各个第二螺 栓孔中心圆直径调节的调节机构。 [0007]所述导向组件包括开设在滑动槽相对的两个内壁上的滑槽， 两个所述滑槽上滑动 连接有与其相匹配的滑块， 两个所述滑块分别与滑动板的两侧相固定 。 [0008]所述调节机构包括驱动环， 所述驱动环螺纹啮合连接在固定管的侧壁上， 所述驱 动环靠向连接盘的一侧通过转动组件连接有环形板， 所述环形板上转动连接有多个传动 板， 各个所述传动板的另一端分别与各个滑动板转动连接 。 [0009]所述驱动环上设置有防滑凸起。 [0010]所述转动组件包括开设在驱动环侧壁上的环形槽， 所述环形槽上转动连接有环形 条， 所述环形 条与环形板相固定 。 [0011]所述缓震降噪机构包括滑动连接在安装框上的安装板， 所述大功率真空泵组安装 在安装板上， 所述安装板的下端固定有固定板， 所述固定板上转动连接有两个相互对称设 置的连杆， 所述安装框的内部固定有固定杆， 所述固定杆上滑动连接有两个方形板， 两个所 述连杆的另一端分别与两个方形板的一侧转动连接， 所述固定杆上套设有两个相互对称设说　明　书 1/4 页 3 CN 217300816 U 3