ICS81.040.30 CCSQ35 中华人民共和国国家标准 GB/T45826—2025 光刻用掺钛石英玻璃 Titaniadopedsilicaglassforlithography 2025-05-30发布 2025-12-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国建筑材料联合会提出。 本文件由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)归口。 本文件起草单位:湖北菲利华石英玻璃股份有限公司、中国建筑材料科学研究总院有限公司、中国 国检测试控股集团股份有限公司、玻璃新材料创新中心(安徽)有限公司、中国科学院微电子研究所、 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中建材玻璃新材料研究院集团有限公司、成都光明光电股 份有限公司、成都光明光电有限责任公司、威海长和光导科技有限公司、南通晶体有限公司、中国计量科 学研究院、中国科学院光电技术研究所、久智光电子材料科技有限公司、中国科学院上海光学精密机械 研究所、济南光微半导体科技有限公司、上海菲利华石创科技有限公司、神光光学集团有限公司、上海传 芯半导体有限公司、成都路维光电有限公司、长沙韶光芯材科技有限公司、国检测试控股集团重庆检测 有限公司。 本文件主要起草人:张寒、聂兰舰、刘俊龙、夏郭俊、谢常青、张海涛、沈一春、钱宜刚、邵竹锋、王慧、 刘焕敏、刘亚茹、王京侠、李佩悦、于浩、陈卫东、刘振禹、毛露路、云仕东、莫大洪、王世凯、裴广庆、曹欣、 崔剑秋、黄婷、秦卫光、韩甫、金晓荣、黄芸、卢卫民、蔡晓峰、司继伟、郑宇辰、李弋舟、王亮亮、胡会容。 ⅠGB/T45826—2025 光刻用掺钛石英玻璃 1 范围 本文件规定了光刻用掺钛石英玻璃(以下简称掺钛石英玻璃)的要求、检验规则以及标志、包装、运 输和贮存,描述了相应的试验方法。 本文件适用于半导体集成电路光刻反射光学系统用掺钛石英玻璃的生产、检验、交付和验收。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB/T191 包装储运图示标志 GB/T5949 透明石英玻璃气泡、气线试验方法 GB/T7962.7 无色光学玻璃测试方法 条纹度检测方法 GB/T43881 低膨胀玻璃线热膨胀系数试验方法 激光干涉法 JC/T2205 石英玻璃术语 JC/T2851 光学石英玻璃应力双折射试验方法 点扫描法 3 术语和定义 JC/T2205界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 掺钛石英玻璃 titaniadopedsilicaglass 在某一温度范围内平均线热膨胀系数不大于5×10-8℃-1的含二氧化钛的石英玻璃。 注:平均线热膨胀系数的最低测试温度不低于-50℃,最高测试温度不超过300℃。 4 要求 4.1 规格尺寸 掺钛石英玻璃的直径(或长宽)及其偏差、厚度及其偏差、关键区域和非关键区域由供需双方商定。 关键区域与非关键区域示意图见图1。 1GB/T45826—2025 标引说明: 1———关键区域; 2———非关键区域; H———掺钛石英玻璃厚度; h———关键区域的厚度。 图1 关键区域与非关键区域示意图 4.2 外观质量 4.2.1 不应有表面沾污、裂纹、麻点、凹坑及崩落。 4.2.2 不应有长度大于10mm或宽度大于0.5mm的划痕。 4.3 气泡与杂质点 掺钛石英玻璃的气泡、杂质点应符合表1规定。 表1 气泡、杂质点要求 区域 要求 关键区域不应有直径≥0.10mm的气泡、杂质点; 0.05mm≤直径<0.10mm的气泡、杂质点,每100cm3不应超过2个; 直径<0.05mm的气泡、杂质点,不作要求 非关键区域不应有直径≥1.30mm的气泡、杂质点; 0.60mm≤直径<1.30mm的气泡、杂质点,每100cm3不应超过1个; 0.10mm≤直径<0.60mm的气泡、杂质点,每100cm3不应超过3个; 直径<0.10mm的气泡、杂质点,不作要求 注:气泡、杂质点的直径为长轴与短轴的平均值。 4.4 平均线热膨胀系数 掺钛石英玻璃在5℃~35℃温度范围内的平均线热膨胀系数应符合表2规定。 2GB/T45826—2025 表2 平均线热膨胀系数(5℃~35℃)要求 单位为10-9每摄氏度 类别 平均线热膨胀系数绝对值|αm| 1 |αm|≤10 2 10<|αm|≤20 3 20<|αm|≤30 4.5 应力双折射 掺钛石英玻璃的应力双折射应符合表3规定。 表3 应力双折射要求 单位为纳米每厘米 类别 应力双折射δ 1 δ≤5 2 5<δ≤10 3 10<δ≤15 4 15<δ≤20 4.6 条纹 掺钛石英玻璃的条纹应符合表4规定。 表4 条纹要求 类别 条纹程度 1 不应有条纹 2 可有条纹,数量为10kg玻璃中不超过1条 5 试验方法 5.1 规格尺寸 采用分度值不大于1mm的测量工具测量。 5.2 外观质量 在暗室中,使用强光手电筒照射样品,样品处照度不低于85000lx,目测。采用分度值不大于 0.1mm的测量工具测量。 5.3 气泡与杂质点 按GB/T5949规定的方法进行试验。 3GB/T45826—2025 5.4 平均线热膨胀系数 从产品坯料的上表面距离边缘20mm处垂直取4块并加工成试样,取样位置如图2所示。按 GB/T43881规定的方法进行试验,取测试值的最大值为试验结果。 标引序号说明: 1、2———测试样取样位置; 3、4———备用样取样位置。 图2 平均线热膨胀系数取样位置平面示意图 5.5 应力双折射 按JC/T2851规定的方法进行试验。测试试样中心95%的区域。 5.6 条纹 按GB/T7962.7规定的方法进行试验。 6 检验规则 6.1 通则 采用100%检验。 6.2 检验项目 包括第4章的全部项目。 6.3 判定规则 规格尺寸、外观质量、气泡与杂质点、应力双折射、条纹均符合要求,则判定该块产品上述指标为 合格。 平均线热膨胀系数符合要求,则判定该块产品该指标合格。如不合格,则取备用样进行复检,复检 结果符合要求则判定该块产品该指标合格。 4GB/T45826—2025