(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210761929.0 (22)申请日 2022.06.29 (71)申请人 苏州太阳井新能源 有限公司 地址 215127 江苏省苏州市吴中区甪直 镇 凌港路128号3幢4层 (72)发明人 姚宇　李中天　黄勇　 (74)专利代理 机构 苏州创元专利商标事务所有 限公司 3210 3 专利代理师 陈婷婷 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种电池片浸泡式去膜方法及装置 (57)摘要 本发明公开了一种电池片浸泡式去膜方法 及装置， 所述去膜方法包括如下步骤： 将电池片 固定地置放在载具中； 将载有电池片的载具浸泡 在去膜液中； 采用喷流、 鼓泡及顶部溢流中的一 种方式或其中两种以上方式的结合， 去除附着在 所述电池片上的掩膜。 采用该去膜方法可以快速 高效地去除电池片上的掩膜， 去除掩膜的过程中 电池片被固定置放在载具上并与去膜液进行接 触反应， 有效地去除了电池片上的掩膜， 使得电 池片保持洁净。 在去膜的过程中也仅需传输载具 即可对电池片予以传输， 避免了电池片在去膜过 程中造成的产生隐裂、 碎片或划伤等风险， 提升 了电池片的良率。 权利要求书2页 说明书10页 附图8页 CN 115083966 A 2022.09.20 CN 115083966 A 1.一种电池片浸泡式去膜方法， 其特 征在于， 包括如下步骤： S1、 将电池片固定地置放在载 具中； S2、 将载有电池片的载 具浸泡在去膜液中； S3、 采用喷流、 鼓泡及顶部溢流中的一种方式或其中两种以上方式的结合， 去除附着在 所述电池片上的掩膜。 2.根据权利要求1所述的 电池片浸泡式去膜方法， 其特征在于： 所述步骤S3中， 采用喷 流的方式去除附着在所述电池片上的掩膜时， 同时朝 向所述电池片的多个表面喷射去膜 液， 或者， 依次朝向所述电池片的不同表面喷射去膜液。 3.根据权利要求1所述的 电池片浸泡式去膜方法， 其特征在于： 所述步骤S3中， 采用鼓 泡的方式去除附着在所述电池片上的掩膜时， 以单一固定的方向朝向所述电池片在所述去 膜液中鼓入气 体形成单向鼓泡， 或者以多个不同的方向 同时或者依次朝向所述电池片在所 述去膜液中鼓入气体形成多向鼓泡。 4.根据权利要求1所述的 电池片浸泡式去膜方法， 其特征在于： 所述步骤S3中， 采用顶 部溢流的方式去除附着在所述电池片上 的掩膜时， 持续向去膜槽中增加去膜液， 使得去膜 液在高于所述载 具及所述电池片的顶部的位置形成溢流。 5.根据权利要求1所述的 电池片浸泡式去膜方法， 其特征在于： 所述步骤S3中， 采用喷 流与顶部溢流相结合的方式去除附着在所述电池片上的掩膜， 或者采用鼓泡与 顶部溢流相 结合的方式去除附着在所述电池片上 的掩膜， 或者采用喷流、 鼓泡与顶部溢流相结合的方 式去除附着在所述电池片上的掩膜。 6.根据权利要求1所述的 电池片浸泡式去膜方法， 其特征在于： 所述步骤S1中， 所述电 池片在所述载具中沿上下方向延伸， 所述载具上设置有用于卡设固定单个所述电池片的定 位槽， 所述电池片的底边部、 沿上 下方向延伸的两个侧边部分别卡设在所述定位槽中； 所述步骤S3中， 采用喷流方式时， 朝向所述底边部及两个所述侧边部同时或者依次进 行喷流； 采用鼓泡方式时， 朝向所述底边部及两个所述侧边部同时或依次进行鼓泡。 7.根据权利要求6所述的 电池片浸泡式去膜方法， 其特征在于： 所述步骤S3中， 以垂直 于所述侧边部的方向进 行喷流或进行鼓泡， 和/或， 以垂 直于所述底边部的方向进 行喷流或 进行鼓泡。 8.根据权利要求6所述的电池片浸泡式去膜方法， 其特征在于： 所述电池片在所述载具 中沿竖直方向延伸， 所述载具 的顶部具有开口， 所述电池片的顶边部露出在所述开口中或 者露出在所述 开口外。 9.根据权利要求6所述的电池片浸泡式去膜方法， 其特征在于： 所述载具同时承载多片 所述的电池片， 所有的所述电池片在所述载 具中彼此间隔地设置 。 10.根据权利要求1所述的电池片浸泡式去膜方法， 其特 征在于， 所述去膜方法还 包括： S4、 将所述载有电池片的载具从盛有去膜液的去膜槽中取出， 并在取出的过程中和/或 取出后， 对所述载 具和/或所述电池片喷洒去膜液进行清洗 。 11.根据权利要求10所述的电池片浸泡式去膜方法， 其特征在于： 在将所述载有电池片 的载具从去膜液取出 的过程中， 先将所述载有电池片的载具下沉至所述去膜槽的槽底， 从 所述去膜槽的底部平移 一定距离后， 再将所述载有电池片的载具从所述去膜槽的底部提升 后取出。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115083966 A 212.根据权利要求11所述的电池片浸泡式去膜方法， 其特征在于： 所述去膜槽具有两个 去膜腔， 两个所述去膜腔的上部相互分隔， 所述去膜槽的底部具有连通两个所述去膜腔且 能够供所述载具平移转换位置的传输通道。 13.根据权利要求10所述的电池片浸泡式去膜方法， 其特征在于： 在将所述载有电池片 的载具从去膜液取出 的过程中， 驱使所述载有电池片的载具在所述去膜槽中移动， 且所述 载有电池片的载 具的移动方向与所述去膜液中掩膜 碎片的流动方向相异。 14.根据权利要求1至13任一项所述的 电池片浸泡式去膜方法， 其特征在于： 所述掩膜 的厚度为2 μm～ 20 μm， 所述掩膜的材 料为有机高分子材 料。 15.根据权利要求14所述的电池片浸泡式去膜方法， 其特征在于： 所述有机 高分子材料 为热固性树脂或者感光树脂， 所述电池片上至少覆盖设置有透明导电氧化物层、 介质层及 金属种子层中的一种。 16.一种电池片浸泡式去膜装置， 其特征在于， 用于实现权利要求1至15任一项所述的 去膜方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115083966 A 3