(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123302457.2 (22)申请日 2021.12.24 (73)专利权人 无锡华瑛微电子技 术有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新区震泽路18 号无锡 （国家） 软件园鲸 鱼座A幢1楼 (72)发明人 沈爱华　 (74)专利代理 机构 苏州言思嘉信专利代理事务 所(普通合伙) 32385 专利代理师 安琳 (51)Int.Cl. F26B 9/06(2006.01) F26B 21/14(2006.01) F26B 25/00(2006.01) F26B 25/12(2006.01) (54)实用新型名称 一种机械手臂移动实现晶圆干燥 (57)摘要 本实用新型公开了一种机械手臂移动实现 晶圆干燥， 包括干燥箱， 所述干燥箱一侧开设有 进出口， 所述干燥箱内壁一侧固定连接有上风刀 和下风刀， 所述上风刀设置于进出口顶部一侧， 所述下风刀设置于进出口底部一侧， 所述干燥箱 一侧设有直线滑台， 所述直线滑台顶部安装有机 械手臂， 所述机械手臂一端固定连接有夹具， 所 述夹具内部安装有上气囊和下气 囊， 所述上气 囊 和下气囊之间夹有晶圆。 本实用新型通过机械手 臂对晶圆进行夹取放置， 并在干燥箱内部设置上 风刀和下风刀， 通过外接氮气供给设备向上风刀 和下风刀内注入高压氮气， 由上风刀和下风刀吹 出的高压氮气吹扫去除晶圆表 面的小液珠， 在对 晶圆进行干燥的同时可避免对晶圆表面造成污 染。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 217357836 U 2022.09.02 CN 217357836 U 1.一种机械手臂移动实现晶圆干燥， 包括干燥箱(1)， 其特征在于： 所述干燥箱(1)一侧 开设有进出口(2)， 所述干燥箱(1)内壁一侧固定连接有上风刀(3)和下风刀(4)， 所述上风 刀(3)设置于进出口(2)顶部一侧， 所述下风刀(4)设置于进出口(2)底部一侧， 所述干燥箱 (1)一侧设有直线滑台(5)， 所述直线滑台(5)顶部安装有机械手臂(6)， 所述机械手臂(6)一 端固定连接有夹具(7)， 所述夹具(7)内部安装有上气囊(8)和下气囊(9)， 所述上气囊(8)和 下气囊(9)之间夹有晶圆(10)， 所述干燥箱(1)内部设有限位机构， 所述限位机构包括限位 架(11)， 所述限位架(1 1)与晶圆(10)相匹配。 2.根据权利要求1所述的一种机械手臂移动实现晶圆干燥， 其特征在于： 所述限位架 (11)两侧均固定连接有连接板(12)， 两个所述连接板(12)分别固定连接于干燥箱(1)内壁 两侧。 3.根据权利要求1所述的一种机械手臂移动实现晶圆干燥， 其特征在于： 所述限位架 (11)形状设为U形， 所述限位架(11)内壁开设有限位槽(13)， 所述限位架(11)一端设有出液 槽孔(14)。 4.根据权利要求1所述的一种机械手臂移动实现晶圆干燥， 其特征在于： 所述干燥箱 (1)顶部开设有排气口(15)， 所述干燥箱(1)顶部安装有排气管(16)， 所述排气管(16)与排 气口(15)相连通。 5.根据权利要求1所述的一种机械手臂移动实现晶圆干燥， 其特征在于： 所述干燥箱 (1)底部开设有排液口(17)， 所述干燥箱(1)底部安装有排液管(18)， 所述排液管(18)与排 液口(17)相连通。 6.根据权利要求1所述的一种机械手臂移动实现晶圆干燥， 其特征在于： 所述干燥箱 (1)一侧固定连接有第一氮气入口(19)和第二氮气入口(20)， 所述第一氮气入口(19)与上 风刀(3)相连通， 所述第二氮气入口(20)与下风刀(4)相连通。 7.根据权利要求1所述的一种机械手臂移动实现晶圆干燥， 其特征在于： 所述夹具(7) 一侧固定连接有第一气管接口(21)和第二气管接口(22)， 所述第一气管接口(21)与上气囊 (8)相连通， 所述第二气管接口(2 2)与下气囊(9)相连通。 8.根据权利要求1所述的一种机械手臂移动实现晶圆干燥， 其特征在于： 所述进出口 (2)的高度大于夹具(7)的高度， 所述进出口(2)的宽度大于晶圆(10)的直径， 所述干燥箱 (1)内壁底部设为锥台面。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217357836 U 2一种机械手臂移动实现晶圆 干燥 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆干燥 技术领域， 具体涉及一种机 械手臂移动实现晶圆干燥。 背景技术 [0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅 晶片， 其原始材料是硅。 高纯度的多晶硅溶 解后掺入硅晶体晶种， 然后慢慢拉出， 形成圆柱形的单晶硅。 硅晶棒在经过研磨， 抛光， 切片 后， 形成硅晶圆片， 也就是晶圆。 在完成清洗工艺后， 晶圆表面会存在一些细 小液珠， 需要进 行干燥去除其表面水分。 [0003]现有的晶圆干燥方式大多都是通过擦拭对其表面水分进行去除， 此种方式干燥效 率低且容 易对晶圆表面造成污染。 [0004]因此， 发明一种机 械手臂移动实现晶圆干燥 来解决上述问题很有必要。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的是提供一种机械手臂移动实现晶圆干燥， 以解决技术中现有的 晶圆干燥方式大多都是通过擦拭对其表面水分进 行去除， 此种方式干燥效率低且容易对晶 圆表面造成污染的问题。 [0006]为了实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种机械手臂移动实现晶圆 干燥， 包括干燥箱， 所述干燥箱一侧开设有进出口， 所述干燥箱内壁一侧固定连接有 上风刀 和下风刀， 所述上风刀设置于进 出口顶部一侧， 所述下风刀设置于进 出口底部一侧， 所述干 燥箱一侧设有直线滑台， 所述直线滑台顶部安装有机械手臂， 所述机械手臂一端固定连接 有夹具， 所述夹具内部安装有 上气囊和下气囊， 所述上气囊和下气囊之间夹有晶圆， 所述干 燥箱内部设有限位机构， 所述限位机构包括限位架， 所述限位架与晶圆相匹配。 [0007]优选的， 所述限位架两侧均 固定连接有连接板， 两个所述连接板分别固定连接于 干燥箱内壁两侧， 通过连接板将限位架与干燥箱内壁进行连接， 有利于提高限位架的结构 稳定性。 [0008]优选的， 所述限位架形状设为U形， 所述限位架内壁开设有限位槽， 所述限位架一 端设有出液槽孔， 通过出液槽孔可将落入限位槽内的小液珠排出， 有利于提高装置的干燥 效率和干燥效果。 [0009]优选的， 所述干燥箱顶部开设有排气口， 所述干燥箱顶部安装有排气管， 所述排气 管与排气口相连通， 通过排气管 可将氮气从干燥箱内部导出。 [0010]优选的， 所述干燥箱底部开设有排液口， 所述干燥箱底部安装有排液管， 所述排液 管与排液口相连通， 通过排液 管可将吹落的液体从干燥箱内部排出。 [0011]优选的， 所述干燥箱一侧固定连接有第一氮气入口和第二氮气入口， 所述第一氮 气入口与上风刀相连通， 所述第二氮气入口与下风刀相连通， 由上风刀和下风刀吹出 的高 压氮气吹扫去除晶圆表面的小液 珠。 [0012]优选的， 所述夹具一侧固定连接有第一气管接 口和第二气管接 口， 所述第一气管说　明　书 1/3 页 3 CN 217357836 U 3