(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123304604.X (22)申请日 2021.12.24 (73)专利权人 无锡华瑛微电子技 术有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新区震泽路18 号无锡 （国家） 软件园鲸 鱼座A幢1楼 (72)发明人 沈爱华　 (74)专利代理 机构 苏州言思嘉信专利代理事务 所(普通合伙) 32385 专利代理师 安琳 (51)Int.Cl. F26B 11/18(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 25/18(2006.01) F26B 25/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种旋转机构实现晶圆干燥装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种旋转机构实现晶圆 干燥装置， 包括箱体、 气动门、 机械手、 中心旋转 平台、 旋转盘、 托板、 晶圆片、 上风刀、 下风刀、 输 气管、 排气管和排液管， 所述箱体内部设置有中 心旋转平台， 所述箱体内部设置有上风刀， 所述 箱体内部设置有下风刀。 本实用新型通过， 技术 效果在于， 箱 体、 气动门、 机械手、 中心旋转平台、 旋转盘、 托板、 晶圆片、 上风刀和下风刀相互配 合； 优点在于， 气动门和机械手实现了晶圆片自 动拿进拿出， 中心旋转平台、 旋转盘和托板实现 了晶圆片旋转， 上风刀和下风刀实现了晶圆片表 面上的小液珠去除功能， 制造成本较低， 结构较 为简单， 维修成本较低， 去除小液珠效率高的优 点。 权利要求书1页 说明书2页 附图3页 CN 217357911 U 2022.09.02 CN 217357911 U 1.一种旋转机构实现晶圆干燥装置， 包括箱体(1)、 气动门(2)、 工作面板(3)、 机械手 (4)、 中心旋转平台(5)、 旋转盘(6)、 托板(7)、 晶圆片(8)、 上风刀(9)、 下风刀(10)、 输气管 (11)、 排气管(12)和排液管(13)， 其特征在于： 所述箱体(1)内部设置有 中心旋转平台(5)， 所述箱体(1)内部设置有上风刀(9)， 所述箱体(1)内部设置有下风刀(10)。 2.根据权利要求1所述的一种旋转机构实现晶圆干燥装置， 其特征在于： 所述箱体(1) 底外表面设置有气动门(2)， 所述箱体(1)底部设置有工作面板(3)。 3.根据权利要求1所述的一种旋转机构实现晶圆干燥装置， 其特征在于： 所述箱体(1) 内部设置有排气管(12)， 所述箱体(1)内部设置有排液 管(13)。 4.根据权利要求1所述的一种旋转机构实现晶圆干燥装置， 其特征在于： 所述工作面板 (3)顶部设置有气动门(2)， 所述工作面板(3)顶部设置有机 械手(4)。 5.根据权利要求1所述的一种旋转机构实现晶圆干燥装置， 其特征在于： 所述中心旋转 平台(5)内部设置有旋转盘(6)， 所述旋转盘(6)顶部 设置有托板(7)， 所述托板(7)顶部设置 有晶圆片(8)。 6.根据权利要求1所述的一种旋转机构实现晶圆干燥装置， 其特征在于： 所述晶圆片 (8)位于上风刀(9)的下 方， 所述晶圆片(8)位于下风刀(10)的上 方。 7.根据权利要求1所述的一种旋转机构实现晶圆干燥装置， 其特征在于： 所述输气管 (11)端部连接有上风刀(9)， 所述输气管(1 1)端部连接有下风刀(10)。 8.根据权利要求1所述的一种旋转机构实现晶圆干燥装置， 其特征在于： 所述排气管 (12)位于排液 管(13)的上 方。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217357911 U 2一种旋转机构实现晶圆 干燥装置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆干燥 技术领域， 具体涉及一种旋转机构实现晶圆干燥装置 。 背景技术 [0002]旋转机构实现晶圆干燥装置是一种将晶圆边上的小液珠精确吹掉用的， 去除小液 珠效果较好， 制造成本较低， 结构较为简单， 晶圆边上经常有小液珠， 用 烘干、 风干和甩干 等， 效果不佳， 任有小 液珠存在， 为了彻底 解决晶圆边上的小 液珠， 利用风刀进 行吹走， 通过 风刀吹走小液 珠， 晶圆边上的小液 珠均被吹走。 [0003]现有的晶圆干燥设备， 干燥效率不高， 去除小液珠效果不佳， 烘干效果并不理想依 然存有较小的小液珠， 例如公告号CN202120140270.8公开的晶圆干燥设备， 制造成本较高， 结构较为复杂， 维修成本较高， 干燥较效率较低。 [0004]因此， 发明一种旋转机构实现晶圆干燥装置来解决上述制造成本较高， 结构较为 复杂， 维修成本较高， 干燥较效率较低的问题。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的是提供一种旋转机构实现晶圆干燥装置， 以解决技术中制造成 本较高， 结构较为复杂， 维修成本较高， 干燥较效率较低的问题。 [0006]为了实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种旋转机构实现晶圆干燥 装置， 包括箱体、 气动门、 机械手、 中心旋转平 台、 旋转盘、 托板、 晶圆片、 上风刀、 下风刀、 输 气管、 排气管和排液管， 所述箱体内部设置有中心旋转平台， 所述箱体内部设置有上风刀， 所述箱体内部设置有下风刀， 上风刀和下风刀用于吹走 晶圆片边上 的小液珠， 解决了制 造 成本较高， 结构较为复杂， 维修成本较高， 干燥较效率较低的问题。 [0007]优选的， 所述箱体底外表面设置有气动门， 所述箱体底部设置有工作面板， 气动门 便于自动开关， 有利于 工作方便 。 [0008]优选的， 所述箱体内部设置有排气管， 所述箱体内部设置有排液管， 排气管用于释 放箱体内部气压， 释放上风刀和下风刀吹进来的气体。 [0009]优选的， 所述工作面板顶部设置有气动门， 所述工作面板顶部设置有机械手， 气动 门和机械手配合， 气动门负责开关门， 机 械手将晶圆片拿进拿出。 [0010]优选的， 所述中心旋转平台内部设置有旋转盘， 所述旋转盘顶部设置有托板， 所述 托板顶部 设置有晶圆片， 中心旋转平台内部的旋转盘带动托板， 从而 带动晶圆片 旋转， 便于 上风刀和下风刀吹走晶圆片表面上的小液 珠。 [0011]优选的， 所述晶圆片位于上风刀的下方， 所述晶圆片位于下风刀的上方， 上风刀 负 责晶圆片上表面的小液 珠， 下风刀负责晶圆片下表面的小液 珠， 上风刀和下风刀同时工作。 [0012]优选的， 所述输气管端部连接有上风刀， 所述输气管端部连接有下风刀， 输气管用 于对上风刀和下风刀提供气体。 [0013]优选的， 所述排气管位于排液管的上方， 排气管高于排液管， 排气管有利于气体的说　明　书 1/2 页 3 CN 217357911 U 3