(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告 号
(45)授权公告日
(21)申请 号 202221642459.8
(22)申请日 2022.06.28
(73)专利权人 威固乐真空设备 (浙江) 有限公司
地址 313100 浙江省湖州市长兴县林城镇
新林北路
(72)发明人 唐兴鹏 翁建龙
(74)专利代理 机构 浙江专橙 律师事务所 3 3313
专利代理师 黄春英
(51)Int.Cl.
F04C 23/00(2006.01)
F04C 23/02(2006.01)
F04C 29/04(2006.01)
F04C 29/06(2006.01)
B08B 3/02(2006.01)
B08B 5/02(2006.01)
(54)实用新型名称
一种干式螺杆真空泵
(57)摘要
本实用新型公开了一种干式螺杆真空泵, 其
特征在于, 包括机柜, 所述机柜内设有螺杆泵和
罗茨泵, 且螺杆泵与罗茨泵之间设有连接管, 所
述罗茨泵上安装有工艺段进气口, 所述机柜侧面
设有氮气进口和溶剂进口, 所述氮气进口连接氮
气管, 且氮气管连接有冲洗支管和密封支管, 所
述冲洗支管与罗茨泵和工艺段进气口连接, 密封
支管与螺杆泵连接, 所述机柜侧面设有溶剂进
口, 溶剂进口连接有溶剂管, 所述溶剂管连接到
工艺段进气口。 该真空泵通过氮气清洗和溶剂清
洗, 两者组合有效去除带有 粉尘的危险气体 。
权利要求书1页 说明书3页 附图5页
CN 217421522 U
2022.09.13
CN 217421522 U
1.一种干式螺杆真空泵, 其特征在于, 包括机柜(1), 所述机柜(1)内设有螺杆泵(2)和
罗茨泵(3), 且螺杆泵(2)与罗茨泵(3)之间设有连接管, 所述罗茨泵(3)上安装有工艺段进
气口(4), 所述机柜(1)侧面设有氮气进口(6)和溶剂进口(7), 所述氮气进口(6)连接氮气管
(8), 且氮气管(8)具有密封和冲洗功能, 所述机柜(1)侧面设有溶剂进口(7), 溶剂进口(7)
连接有溶剂管(1 1), 所述溶剂管(1 1)连接到工艺段进气口(4)。
2.根据权利要求1所述的一种干式螺杆真空泵, 其特征在于, 所述螺杆泵(2)底部的排
气口处设有消音器(16), 且消音器(16)位于 机柜(1)内部 。
3.根据权利要求1所述的一种干式螺杆真空泵, 其特征在于, 所述罗茨泵(3)和螺杆泵
(2)分别连接有驱动电机一和驱动电机二, 且两个驱动电机都为水冷永磁变频电机, 电机结
构设计为 一体式。
4.根据权利要求3所述的一种干式螺杆真空泵, 其特征在于, 所述机柜(1)设有冷水进
口(12)和冷水出口(13), 所述冷水进口(12)连接有冷水管(14), 所述冷水管(14)内的冷却
水先经过螺杆泵 (2) , 再分成两条支路, 一条支路 的冷却水依次经过驱动电机二、 驱动电机
一, 另一条支路的冷却水经过罗茨泵(3), 最后两条支路汇聚成进入出水管(15)中, 所述出
水管(15)与冷水 出口(13)连通。
5.根据权利要求1所述的一种干式螺杆真空泵, 其特征在于, 所述机柜(1)设有控制柜
(5), 控制柜(5)内部安装各类电子元器件。
6.根据权利要求1所述的一种干式螺杆真空泵, 其特征在于, 所述罗茨泵(3)与螺杆泵
(2)采用上 下堆叠串联, 且罗茨泵(3)位于上 方, 螺杆泵(2)位于下 方。权 利 要 求 书 1/1 页
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CN 217421522 U
2一种干式螺杆真空泵
技术领域
[0001]本实用新型 涉及一种真空泵, 特别涉及一种干式螺杆真空泵。
背景技术
[0002]干式螺杆真空泵, 是利用一对螺杆转子, 在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的
吸气和排气作用的抽气设备。 在泵工作时, 螺杆转子间无摩擦, 运转平稳, 工作腔无需润滑
油, 它能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合。 它具有真空度高、 低能耗、 节能减排
等优点。 当它与罗茨泵串联 组合使用时, 是以罗茨泵为主抽泵 (即增压泵) , 以螺杆泵为前级
泵。 在泵组工作时, 由螺杆泵先对系统进行预抽, 当系统压力达到允许罗茨泵启动压力后,
罗茨泵就可启动工作。
[0003]一般的将螺杆泵和罗茨泵组合的结构不够紧凑, 占地空间大, 并且无法除含粉尘
量大的气体, 抽除含粉尘量大的气体的时候, 粉尘会残留在泵体内部, 影响泵体的正常运
转, 在抽取一些危险性气体的时候, 会有一部分气体残留在泵体内, 影响整体性能。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的是提供一种干式螺杆真空泵, 该真空泵通过氮气清洗和溶剂清
洗, 两者组合有效去除带有粉尘的危险气体。
[0005]本实用新型的上述 技术目的是通过以下技 术方案得以实现的:
[0006]一种干式螺杆真空泵, 包括机柜, 所述机柜内设有螺杆泵和罗茨泵, 且螺杆泵与罗
茨泵之间设有连接管, 罗茨泵 上安装有工艺段进气口, 机柜侧面设有氮气进口和溶剂进口,
氮气进口连接氮气管, 且氮气管具有密封和冲洗功能, 机柜侧面设有 溶剂进口, 溶剂进口连
接有溶剂管, 溶剂管 连接到工艺段进气口。
[0007]采用上述技术方案, 氮气进口可以通入氮气, 氮气进入氮气管后, 分成两个支路,
其中一条支路的氮气进入罗茨泵的前后端盖和工艺段进气口中, 将罗茨泵内的有毒有害的
气体通过连接管往下排入螺杆泵中, 最后 将二者体内的有毒有害气 体从工艺段出气口全部
排出, 起到冲洗作用。 另一条支路的氮气进入到螺杆泵的前后端盖中, 通过氮气进行密封。
并且从溶剂进口通入溶剂, 溶剂通过溶剂管从顶端的工艺段进气口依次进入罗茨泵和螺杆
泵中, 通过氮气冲洗和溶剂冲洗, 为了在真空泵运行前或运行后排出泵内残留气体或一些
有害的物质, 例如可凝性蒸汽、 含有 灰尘、 有毒等混合气体, 不会滞留在泵腔内, 适用于恶劣
的应用场合。
[0008]作为优选, 所述螺杆泵底部的排气口处设有消音器, 且消音器位于 机柜内部 。
[0009]采用上述技术方案, 配置消音器, 它是消除空气动力性噪声的重要措施。 此消音器
设计美观小 巧, 安装在螺杆泵排气口, 在排气系统中用于降低噪声。
[0010]作为优选, 所述罗茨泵和螺杆泵分别连接有驱动电机一和驱动电机二, 且两个驱
动电机都为水冷永磁 变频电机, 电机结构设计为 一体式。
[0011]采用上述技术方案, 驱动电机一和驱动电机二都为一体式, 即无轴承式, 与 泵体直说 明 书 1/3 页
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专利 一种干式螺杆真空泵
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