(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221617335.4 (22)申请日 2022.06.27 (73)专利权人 重庆摩尔精英 速芯半导体有限公 司 地址 401122 重庆市渝北区仙桃街道数据 谷中路10 5号 (72)发明人 毛文龙　唐伟炜　宋志颖　张竞扬　 熊进宇　冯磊　王天龙　蒋祖胜　 邵鹏　张腾飞　陶永杰　赵建新　 (74)专利代理 机构 上海和华启核知识产权代理 有限公司 313 39 专利代理师 王娜娜 (51)Int.Cl. B08B 5/02(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种清洁晶圆背面颗粒物的装置 (57)摘要 本实用新型揭示了一种清洁晶圆背面颗粒 物的装置， 包括固定平台、 外部框架、 与外部吹风 设备连通的导管、 吹风壳体和出风壳体； 吹风壳 体和出风壳体分别安装于所述外部框架相对的 两侧， 且与所述固定平台相向的一侧均开设有相 对应的吹风矩形口和出风矩形口； 所述导管的一 端与所述吹风壳体固定连接； 所述吹风壳体与所 述吹风矩形口之间可拆卸连接有一过滤板； 所述 出风壳体内固定有用于颗粒物吸附的静电板， 且 所述出风壳体一侧开设有一出风口。 本实用新型 能够在晶圆背面贴膜前， 对其背面的颗粒物和异 物进行吹扫， 保证贴膜的质量， 同时使对吹扫的 颗粒物和异物进行静电吸附， 有效防止其四处飞 舞， 甚至重返晶圆背面， 影响后续的贴膜效果。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 217411732 U 2022.09.13 CN 217411732 U 1.一种清洁晶圆背面颗粒物的装置， 其特征在于， 包括固定平台、 外部框架、 与外部吹 风设备连通的导管、 吹风壳体和出风壳体； 所述吹风壳体和出风壳体分别安装于所述外部框架相对的两侧， 且与 所述固定平台相 向的一侧均开设有相对应的吹风矩形口和出风矩形口； 所述导管的一端与所述吹风壳体固定连接； 所述吹风壳体与所述吹风矩形口之间可拆卸连接有一过 滤板； 所述出风壳体 内固定有用于颗粒物吸附的静电板， 且所述出风壳体一侧开设有一出风 口。 2.如权利要求1所述的清洁晶圆背面颗粒物的装置， 其特征在于， 所述过滤板背离所述 吹风壳体的一侧滑动有两个定位板， 两个所述定位板的一端均通过一连接块与所述吹风壳 体固定。 3.如权利要求2所述的清洁晶圆背面颗粒物的装置， 其特征在于， 所述过滤板朝向所述 连接块的一端固定有两个定位 块， 两个所述连接块上均开设有定位槽 。 4.如权利要求1所述的清洁晶圆背面颗粒物的装置， 其特征在于， 所述过滤板的顶端设 有一推拉板 。 5.如权利要求1所述的清洁晶圆背面颗粒物的装置， 其特征在于， 还包括位于手动贴膜 设备内用于膜料按压的压辊件， 所述压辊件的两端均滑动设置于所述外部框架内， 且位于 所述固定平台的左右两侧。 6.如权利要求5所述的清洁晶圆背面颗粒物的装置， 其特征在于， 所述导管安装有无线 阀门开关， 所述固定平台的一侧固定有与所述无线阀门开关通信连接的控制开关， 所述控 制开关的按 钮与所述压辊件的一端相互抵 接。 7.如权利要求6所述的清洁晶圆背面颗粒物的装置， 其特征在于， 所述控制开关通过粘 结胶与所述固定平台靠 近所述吹风壳体的一侧粘结。 8.如权利要求1所述的清洁晶圆背面颗粒物的装置， 其特征在于， 所述吹风壳体和出风 壳体均通过 连接螺栓与所述外 部框架固定 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217411732 U 2一种清洁晶圆背面颗粒物的装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及晶圆贴膜装置领域， 特别是涉及一种清洁晶圆背面颗粒物的装 置。 背景技术 [0002]半导体制造一般地可以分为前道工序和后 道工序， 前道工序主要是将硅片通过外 延、 扩散、 光刻等工艺制作成晶圆， 也即一个薄圆片。 晶圆内规律排列着许多相同的但具有 独立功能的芯片。 后道工序则主要是对每个性能合格的芯片进行封装与测试。 因此后道工 序需要在划片机上将整片晶圆进行划切， 将每个芯片单独分切出。 为了确保划片机切割晶 圆时不会损坏芯片及方便后面封装时机器能够自动拾取芯片， 需要将晶圆无气泡地粘贴到 胶膜上， 这样晶圆经 过切割后， 芯片才不会脱落， 并且保持原来的排列顺序。 [0003]目前对于晶圆的贴胶膜主要通过手动贴膜机完成， 若晶圆背面粘附有存在于空气 中的颗粒物， 则贴膜机在 进行贴胶膜时， 附着 于晶圆背面的大颗粒物会造成贴膜异常， 此时 需要撕掉异常的胶膜并重新粘贴。 再重新粘贴之前需要对晶圆背面附着的大颗粒进行清 理， 以确保胶膜粘贴合格。 然而， 现有技术中并未存在贴膜前对晶圆背面颗粒物进 行清洁的 装置。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于， 提供一种清洁晶圆背面颗粒物的装置， 以实现在晶圆贴 膜前， 对其背面的颗粒物和异 物进行吹扫， 确保贴膜的质量。 [0005]为解决上述技术问题， 本实用新型提供一种清洁晶圆背面颗粒物的装置， 包括固 定平台、 外 部框架、 与外 部吹风设备 连通的导管、 吹风壳体和出风壳体； [0006]所述吹风壳体和出风壳体分别安装于所述外部框架相对的两侧， 且与所述固定平 台相向的一侧均开设有相对应的吹风矩形口和出风矩形口； [0007]所述导管的一端与所述吹风壳体固定连接； [0008]所述吹风壳体与所述吹风矩形口之间可拆卸连接有一过 滤板； [0009]所述出风壳体内固定有用于颗粒物吸附的静电板， 且所述出风壳体一侧开设有一 出风口。 [0010]进一步的， 在所述的清洁晶圆背面颗粒物的装置中， 所述过滤板背离所述吹风壳 体的一侧滑动有两个定位板， 两个所述定位板的一端均通过一连接块与所述吹风壳体固 定。 [0011]进一步的， 在所述的清洁晶圆背面颗粒物的装置中， 所述过滤板朝向所述连接块 的一端固定有两个定位 块， 两个所述连接块上均开设有定位槽 。 [0012]进一步的， 在所述的清洁晶圆背面颗粒物的装置中， 所述过滤板的顶端设有一推 拉板。 [0013]进一步的， 在所述的清洁晶圆背面颗粒物的装置中， 还包括位于手动贴膜设备内说　明　书 1/3 页 3 CN 217411732 U 3