(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221642601.9 (22)申请日 2022.06.29 (73)专利权人 钛深科技 （深圳） 有限公司 地址 518112 广东省深圳市龙岗区吉华 街 道甘李二路11号中海信创新产业城 19A栋214室 (72)发明人 叶宏　王杰营　汪晓阳　陈旭　 (74)专利代理 机构 江苏斐多律师事务所 323 32 专利代理师 向妮 (51)Int.Cl. G01D 21/02(2006.01) G01R 31/389(2019.01) G01R 31/392(2019.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种薄膜式温压传感器及温压 检测系统 (57)摘要 本实用新型涉及温压检测技术领域， 特别涉 及一种薄膜式温压传感器及温压检测系统。 薄膜 式温压传感器包括薄膜式温压感测片及数据采 集装置， 薄膜式温压感测片 包括基材及感测材料 层， 基材上设置有压力感测电极及温度感测电 极， 压力感测电极与感测材料层相对设置以形成 压力感测单元； 温度感测电极包括多个温度感测 单元， 任意一温度感测单元对应至少一压力感测 单元设置。 本实用新型通过设置多个压力感测单 元及分别与之对应的温度感测单元， 不仅能同时 获取待测物 不同区域的压力及温度变化情况， 同 时还能够获取对应压力感测单元处的温度变化 情况， 进而能够对压力感测单元进行温度漂移的 修正， 进一步提高了压力检测单元检测结果的准 确性。 权利要求书2页 说明书9页 附图5页 CN 217504862 U 2022.09.27 CN 217504862 U 1.一种薄膜式温压传感器， 其特征在于： 所述薄膜式温压传感器包括薄膜式温压感测 片及数据采集装置， 所述薄膜式温压感测片包括基材及感测材料层， 所述基材上设置有压 力感测电极及温度感测电极， 所述压力感测电极与所述感测材料层相对设置以形成压力感 测单元； 所述温度感测电极包括多个温度感测单元， 任意一温度感测单元对应至少一压力感测 单元设置。 2.如权利要求1所述的一种薄膜式温压传感器， 其特征在于： 所述温度感测单元包括温 敏检测格点及温度信号传输线， 所述温度信号传输线一端与所述温敏检测格点相对接另一 端与所述数据采集装置相对接； 所述压力感测电极包括压力检测格点及压力信号传输线， 所述压力 检测格点和所述感 测材料层形成所述压力感测单元， 所述压力信号传输线一端与所述压力检测格点相对接另 一端与所述数据采集装置相对接 。 3.如权利要求2所述的一种薄膜式温压传感器， 其特征在于： 所述温度感测单元与 所述 压力感测单元均设置在所述基材同一侧的不同位置， 所述感测材料层 对应所述温敏检测格 点的位置进一 步开设有用以容纳所述温敏检测格点的容置位； 所述感测材料层与 所述压力检测格点相接触时， 所述温敏检测格点收容于所述容置位 内。 4.如权利要求3所述的一种薄膜式温压传感器， 其特征在于： 所述温敏检测格点的厚度 大于所述感测材料层与所述压力检测格点之间的初始间隙， 所述容置位的槽深大于所述温 敏检测格点的厚度。 5.如权利要求3所述的一种薄膜式温压传感器， 其特征在于： 所述容置位为贯穿所述感 测材料层的通孔， 所述薄膜式温压感测片进一步设有第一弹性防护层， 所述第一弹性防护 层设置在所述 容置位远离所述温敏检测格点的一侧并密封所述 容置位该侧的开口。 6.如权利要求3所述的一种薄膜式温压传感器， 其特征在于： 各所述压力感测单元在所 述基材上沿不同方向阵列排布， 任意两相 邻的所述压力感测单元之 间设置有用以放置所述 温敏检测格点的通道， 两交叉的通道处至少设有一所述温敏检测格点。 7.如权利要求2所述的一种薄膜式温压传感器， 其特征在于： 所述压力感测电极与 所述 温度感测电极 分别设置在所述基材的两相对侧； 所述薄膜式温压感测片进一步设有第 二弹性防护层， 所述第 二弹性防护层 设有与所述 温度感测单元相对应的避 让结构， 所述第二 弹性防护 层设置在所述温度感测电极一侧并与 所述基材相贴合， 所述温度感测单 元收容于所述避让 结构。 8.如权利要求7所述的一种薄膜式温压传感器， 其特征在于： 所述避让结构为所述第 二 弹性防护层上未贯穿的凹槽， 所述避让结构的开口朝向所述温敏检测格点， 所述避让结构 的槽深不小于所述温敏检测格点的厚度； 或， 所述避让结构为贯穿所述第二弹性防护层的通孔， 所述避让结构的深度不小于所 述温敏检测格点的厚度。 9.如权利要求7所述的一种薄膜式温压传感器， 其特征在于： 相邻的两所述压力感测单 元之间不设置间隙， 各所述压力感测单元组成连续的表面， 所述基材上任意一所述压力感 测单元的相对面至少设有一所述温度感测单 元。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217504862 U 210.一种温压检测系统， 其特征在于： 所述温压检测系统包括检测系统、 控制器及如权 利要求1至9中任意一项 所述的薄膜式温压传感器， 所述薄膜式温压传感器通过所述控制器 与所述检测系统通信连接 。 11.如权利要求10所述的温压检测系统， 其特征在于： 所述控制器 内存储有用以对所述 薄膜式温压传感器检测的温度数据进 行校准的温度校准文件， 及用以对所述薄膜式温压传 感器检测的压力数据进行 校准的压力校准文件。 12.如权利要求10至11中任意一项所述的温压检测系统， 其特征在于： 所述温压检测系 统用于对电池进 行安全检测， 所述薄膜式温压感测片 夹持设置在电芯与容纳电芯的安装壳 体之间， 所述压力感测单 元设置在所述基材对应电芯的一侧。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217504862 U 3