(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222745007.9 (22)申请日 2022.10.18 (73)专利权人 泓浒 （苏州） 半导体科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市相城区元和万 里路88号4号楼1楼104室 (72)发明人 顾阳洋　林坚　卢伟　沈东民　 章健　 (74)专利代理 机构 北京同辉知识产权代理事务 所(普通合伙) 11357 专利代理师 廖娜 (51)Int.Cl. B65G 47/248(2006.01) B65G 47/74(2006.01) B65G 47/91(2006.01) (54)实用新型名称 一种适用于晶圆外观检查的翻转装置 (57)摘要 本实用新型涉及一种适用 于晶圆外观检查 的翻转装置， 包括机架， 所述机架内设置有用于 检查产品上侧面的第一翻转机构， 所述机架内设 置有用于检查产品下侧面的第二翻转机构， 所述 第二翻转机构邻近于第一翻转机构的一侧， 同时 所述第二翻转机构的翻转组件与第一翻转机构 的翻转组件在同一轴线设置， 所述机架的顶端上 设置有用于对产品检查用的照明光源， 所述机架 的侧面上开 设有用于检查产品的可视窗口。 本实 用新型能实现对产品全 方位的检查， 从而确保产 品的质量。 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 CN 218144187 U 2022.12.27 CN 218144187 U 1.一种适用于晶圆外观检查的翻转装置， 其特征在于： 包括机架(1)， 所述机架(1)内设 置有用于检查产品上侧面的第一翻转机构(2)， 所述机架(1)内设置有用于检查产品下侧面 的第二翻转机构(3)， 所述第二翻转机构(3)邻近于第一翻转机构(2)的一侧， 同时所述第二 翻转机构(3)的翻转组件与第一翻转机构(2)的翻转组件在同一轴线设置， 所述机架(1)的 顶端上设置有用于对产品检查用的照明光源(4)， 所述机架(1)的侧面上开设有用于检查产 品的可视窗口(5)。 2.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置， 其特征在于： 所述第 一 翻转机构(2)包括翻转固定板(21)， 所述翻转固定板(21)竖直安装于机架(1)内， 所述翻转 固定板(21)上通过第一带座轴承连接有丝杆(22)， 所述丝杆(22)的连接有滑动的滑块 (23)， 所述滑块(23)上连接有水平放置的第一支撑板(24)， 所述翻转固定板(21)上连接有 第一驱动电机(25)， 所述第一驱动电机(25)的驱动轴与丝杆(22)相驱动连接， 所述第一支 撑板(24)上连接有竖直放置的第二支撑板(27)， 所述第二支撑板(27)的下侧上连接有电第 一电机支架， 所述第一电机支架上连接有第二驱动电机(28)， 所述第二驱动电机(28)的驱 动轴穿过第二支撑板(27)与主动轮(29)相驱动连接， 与所述第二支撑板(27)同一面上连接 有传动轴， 所述传动轴的一端 上连接有从动轮(210)， 所述 从动轮和主动轮通过第一同步带 (211)相同步连接， 所述传动轴的另一端穿过第二支撑板与旋转支撑板(212)相同步旋转连 接， 所述旋转支撑板(212)呈Y型结构， 所述旋转支撑板(212)的一侧通过第二电机支架连接 有第三驱动装置(213)， 所述第三驱动装置(213)的驱动轴 与通过旋转轴承穿接在旋转支撑 板(212)上的旋转传动轴(214)相驱动连接， 所述旋转传动轴(214)上连接有随旋转传动轴 同步旋转的旋转块(215)， 所述旋转块(215)上穿接有旋转杆(216)， 所述旋转杆(216)的下 端与第四驱动电机(217)相连， 所述旋转杆(216)的顶端上连接有随旋转杆同步旋转的第一 吸盘(218)。 3.根据权利要求2所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置， 其特征在于： 所述翻转 固定板(21)上连接有辅助导轨(26)， 它们分设在丝杆(22)的左右两侧， 所述辅助导轨(26) 上连接有辅助滑块， 第一支撑 板(24)通过辅助滑块连接在辅助导轨(26)上。 4.根据权利要求2所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置， 其特征在于： 所述旋转 支撑板(212)上连接有辅助导向板(219)， 所述辅助导向板(219)上开设有导向滑槽， 所述旋 转块(215)上 连接有在导向滑槽内滑动的导向杆。 5.根据权利要求4所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置， 其特征在于： 所述导向 滑槽呈弧形 结构， 其弧度在 ‑90°至90°。 6.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置， 其特征在于： 所第 二翻 转机构(3)包括翻转固定支撑板(31)， 所述翻转固定支撑板(31)上连接有相对的第二带座 轴承(32)， 相对的所述第二带座轴承之间连接有升降丝杆(33)， 所述升降丝杆(33)上套装 有滑动的滑套块(34)， 所述翻转固定支撑板(31)的一侧连接有第五驱动电机(35)， 所述第 五驱动电机(35)的驱动轴通过联轴器与升降丝杆(33)相驱动连接， 所述滑套块(34)上连接 有随滑套块同步移动的电机固定支撑板(36)， 所述电机固定支撑板(36)的上端和下端分别 连接有带座的第一转轴和第二转轴， 所述第一转轴和第二转轴上分别连接有第一同步轮 (37)和第二同步轮(38)， 在第一同步乱和第二同步轮之间套装有第二同步带(39)， 所述电 机固定支撑板(36)上连接有第六驱动电机(310)， 所述第六驱动电机(310)的驱动轴通过联权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 218144187 U 2轴器与第二转轴相驱动连接， 所述第一转轴的一端穿过电机固定支撑板(36)与用于吸附产 品的连接吸杆组件(31 1)相同步旋转连接 。 7.根据权利要求6所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置， 其特征在于： 所述连接 吸杆组件(311)包括连接杆(312)和吸盘连接块(313)， 所述连接杆(312)通过连接件与第一 转轴相同步连接， 所述连接杆(312)呈半圆结构， 在半圆结构的所述连接杆(312)上连接有 若干吸盘连接块(313)， 若干所述吸盘连接块(313)之间呈90度间隔分布， 所述吸盘连接块 (313)上连接有第二吸盘(314)。 8.根据权利要求7所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置， 其特征在于： 连接杆和 吸盘连接块(313)为 一体结构。 9.根据权利要求6所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置， 其特征在于： 所述第五 驱动电机和第六驱动电机均为伺服电机 。 10.根据权利要求2所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置， 其特征在于： 所述第 一驱动电机、 第二驱动电机、 第三驱动电机和第四驱动电机均为伺服电机 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 218144187 U 3