(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210861991.7 (22)申请日 2022.07.20 (71)申请人 东莞市卓聚科技有限公司 地址 523000 广东省东莞 市松山湖园区学 府路1号12栋402室 (72)发明人 陈汉阳　许智　王水元　 (74)专利代理 机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通 合伙) 11201 专利代理师 何世磊 (51)Int.Cl. B65G 47/74(2006.01) B65G 47/82(2006.01) B65G 47/24(2006.01) G01N 21/01(2006.01) G01N 21/13(2006.01)G01N 21/84(2006.01) (54)发明名称 一种二维材 料真空转移装置 (57)摘要 本发明公开了一种二维材料真空转移装置， 包括隔振平台、 光学观察系统、 精密操 控台、 控制 器和真空系统， 光学观察系统和精密操控台安装 在隔振平台上； 精密操控台包括腔外X轴电动位 移台、 腔外Y轴电动位移台、 腔体转接板、 下腔体、 上腔体、 真空促动器、 旋转台腔外动力器、 放气阀 门、 密封石英板、 真空接线板、 腔内X轴直线位移 台、 腔内Y轴直线 位移台、 腔内Z轴直线位移台、 磁 吸样品座、 载 玻片架子、 真空旋转台、 旋转过线装 置、 真空加热台。 本发明能够解决现有技术腔体 的体积较大、 无法有效的实现XYZ三个轴串联驱 动的技术问题。 权利要求书4页 说明书11页 附图12页 CN 115180385 A 2022.10.14 CN 115180385 A 1.一种二维材料真空转移装置， 其特征在于， 包括隔振平台(1)、 光学观察系统(2)、 精 密操控台(3)、 控制器和真空系统， 光学观察系统(2)和精密操控台(3)安装在隔振平台(1) 上； 精密操控台(3)包括腔外X轴电动位移台(3 ‑1)、 腔外Y轴电动位移台(3 ‑2)、 腔体转接板 (3‑3)、 下腔体(3 ‑4)、 上腔体(3 ‑5)、 真空促动器(3 ‑6)、 旋转台腔外动力 器(3‑7)、 放气阀门 (3‑8)、 密封石英板(3 ‑9)、 真空接线板(3 ‑10)、 腔内X轴直线位移台(3 ‑11)、 腔内Y轴直线位 移台(3‑12)、 腔内Z轴直线 位移台(3 ‑13)、 磁吸样品座(3 ‑14)、 载玻片架子(3 ‑15)、 真空旋转 台(3‑16)、 旋转过线装置(3 ‑17)、 真空加热台(3 ‑18)； 腔外X轴电动位移台(3 ‑1)安装在隔振平台(1)上， 腔外X轴电动位移台(3 ‑1)、 腔外Y轴 电动位移台(3 ‑2)、 腔体转接 板(3‑3)、 下腔体(3 ‑4)从下到上依次设置； 真空促动器(3 ‑6)、 旋转台腔外动力器(3 ‑7)、 放气阀门(3 ‑8)安装在下腔体(3 ‑4)和上 腔体(3‑5)组成的腔体的外侧； 真空接线板(3 ‑10)、 腔内X轴直线位移台(3 ‑11)、 腔内Y轴直线位移台(3 ‑12)、 腔内Z轴 直线位移台(3 ‑13)、 磁吸样品座(3 ‑14)安装在下腔体(3 ‑4)和上腔体(3 ‑5)组成的腔体的内 部， 且腔内X轴直线位移台(3 ‑11)、 腔内Y轴直线位移台(3 ‑12)、 腔内Z轴直线位移台(3 ‑13)、 磁吸样品座(3 ‑14)在下腔体(3 ‑4)上从下到上依次设置； 载玻片架子(3 ‑15)安装在磁吸样品座(3 ‑14)上， 真空旋转台(3 ‑16)安装在旋转过线装 置(3‑17)上， 真空加热台(3 ‑18)安装在真空旋转台(3 ‑16)上， 密封石英板(3 ‑9)安装在上腔 体(3‑5)上。 2.根据权利要求1所述的二维材料真空转移装置， 其特征在于， 腔内X轴直线位移台(3 ‑ 11)包括腔内X轴直线位移台底座(3 ‑11‑1)、 腔内X轴直线位移台平台(3 ‑11‑2)、 交叉滚子导 轨(3‑11‑3)、 拉伸弹簧(3 ‑11‑4)、 摩擦片(3 ‑11‑5)； X轴直线位移台底座(3 ‑11‑1)固定在下腔体(3 ‑4)的底部， 交叉滚子导轨(3 ‑11‑3)安装 在腔内X轴直线位移台底座(3 ‑11‑1)与腔内X轴直线位移台平台(3 ‑11‑2)之间， 腔内X轴直 线位移台平台(3 ‑11‑2)可以相对腔内X轴直线位移台底 座(3‑11‑1)做直线运动， 腔内X轴直 线位移台底座(3 ‑11‑1)与腔内X轴直线位移台平台(3 ‑11‑2)中间设有若干根拉伸弹簧(3 ‑ 11‑4)， 拉伸弹簧(3 ‑11‑4)的一端固定在腔内X轴直线位移台底座(3 ‑11‑1)的上表面， 另一 端固定在腔内X轴直线位移台平台(3 ‑11‑2)的下表面， 在拉伸弹簧(3 ‑11‑4)处于自然状态 时， 腔内X轴直线位移台底座(3 ‑11‑1)、 腔内X轴直线位移台平台(3 ‑11‑2)相对错开设置； 摩 擦片(3‑11‑5)贴在腔内X轴直线位移台平台(3 ‑11‑2)的前面， 摩擦片(3 ‑11‑5)的法线方向 与腔内X轴直线位移台平台(3 ‑11‑2)的运动方向相同， 真空促动器(3 ‑6)的球头与摩擦片 (3‑11‑5)点接触， 通过真空促动器(3 ‑6)的旋进和旋退来控制腔内X轴直线位移台平台(3 ‑ 11‑2)做直线运动； 腔内Y轴直线位移台(3 ‑12)与腔内X轴直线位移台(3 ‑11)的结构相同， 通过安装在 下腔 体(3‑4)两个相互垂直壁面上的两个真空触动器(3 ‑6)分别控制腔内X轴直线位移台(3 ‑11) 和腔内Y轴直线位移台(3 ‑12)沿X轴和Y轴运动。 3.根据权利要求2所述的二维材料真空转移装置， 其特征在于， 腔内Z轴直线位移台(3 ‑ 13)包括腔内Z轴直线位移台底座(3 ‑13‑1)、 腔内Z轴直线位移台平台(3 ‑13‑2)、 腔内Z轴直 线位移台交叉滚子导轨(3 ‑13‑3)、 腔内Z轴直线位移台压弹簧(3 ‑13‑4)；权　利　要　求　书 1/4 页 2 CN 115180385 A 2腔内Z轴直线位移台底座(3 ‑13‑1)与腔内Z轴直线位移台平台(3 ‑13‑2)通过腔内Z轴直 线位移台交叉滚子导轨(3 ‑13‑3)连接在一起， 使得腔内Z轴直线位移台平台(3 ‑13‑2)沿腔 内Z轴直线位移台底座(3 ‑13‑1)的法线方向做直线运动； 腔内Z轴直线位移台底座(3 ‑13‑1)与腔内Z轴直线位移台平台(3 ‑13‑2)之间有至少一 个腔内Z轴直线位移台压弹簧(3 ‑13‑4)， 腔内Z轴直线位移台压弹簧(3 ‑13‑4)用于抵抗腔内 Z轴直线位移台平台(3 ‑13‑2)及其上方安装的装置的重力， 通过位于腔内Z轴直线位移台平 台(3‑13‑2)上表面法线方 向的真空促动器(3 ‑6)来控制腔内Z轴直线位移台(3 ‑13)的升起 与下降。 4.根据权利要求1所述的二维材料真空转移装置， 其特征在于， 下腔体(3 ‑4)为一个方 形腔体， 其正面和侧 面共有六个真空部件接口， 每个真空部件接口的中间设有贯穿到腔体 内部的通孔， 通孔四周有一圈未贯穿到腔 体内部的螺纹孔， 六个 真空部件接口分别为： 下腔 体第一真空接口(3 ‑4‑1)、 下腔体第二真空接口(3 ‑4‑2)、 下腔体第三真空接口(3 ‑4‑3)、 下 腔体第四真空接口(3 ‑4‑4)、 下腔体第五真空接口(3 ‑4‑5)、 下腔体第六真空接口(3 ‑4‑6)； 下腔体第一真空接口(3 ‑4‑1)用于安装放气阀门(3 ‑8)， 下腔体第二真空接口(3 ‑4‑2) 用于安装Y轴的真空促动器(3 ‑6)， 下腔体第三真空接口(3 ‑4‑3)用于安装 X轴的真空促动器 (3‑6)， 下腔体第四真空接口(3 ‑4‑4)用于安装真空规， 下腔体第五真空接口(3 ‑4‑5)用于连 接真空泵组， 下腔体第六真空接口(3 ‑4‑6)用于安装旋转台腔外动力器(3 ‑7)； 下腔体(3 ‑4)的腔壁上设有若干个下腔体锁紧螺纹孔(3 ‑4‑7)、 若干个定位销孔(3 ‑4‑ 8)以及一个密封圈安装槽， 密封圈安装槽的三个侧面的光洁度大于1.6， 下腔 体锁紧螺纹孔 (3‑4‑7)配合螺栓将上腔体(3 ‑5)与下腔体(3 ‑4)组装在一起， 定位销孔(3 ‑4‑8)用于安装定 位销， 定位销远离下腔体(3 ‑4)的一段 连接上腔体(3 ‑5)的定位销孔以实现定位； 下腔体(3 ‑4)的后方设有真空接线板安装孔(3 ‑4‑9)， 真空接线板安装孔(3 ‑4‑9)用于 安装真空接线板(3 ‑10)； 下腔体(3 ‑2)底部的内表面设有用于异形槽(3 ‑4‑10)， 异形槽(3 ‑4‑10)用于对Y轴的真 空促动器(3 ‑6)与旋转过线装置(3 ‑17)的安装进行定位， 异形槽(3 ‑4‑10)的上表面设有多 个下腔底安装孔(3 ‑4‑11)， 下腔底安装孔(3 ‑4‑11)用于安装Y轴的真空促动器(3 ‑6)与旋转 过线装置(3 ‑17)。 5.根据权利要求4所述的二维材料真空转移装置， 其特征在于， 上腔体(3 ‑5)为一个方 形腔体， 其下表面的光洁度大于1.6， 上腔体(3 ‑5)的下表面设有多个定位销 孔(3‑5‑6)， 定 位销孔(3‑5‑6)与定位销 孔(3‑4‑8)对应设置， 上腔体(3 ‑5)的上表面设有上腔体真空接口 (3‑5‑1)， 上腔体(3 ‑5)的上表面还设有方形槽(3 ‑5‑2)， 方形槽(3 ‑5‑2)用于安装密封石英 板(3‑