(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211247879.0 (22)申请日 2022.10.12 (71)申请人 河北圣昊光电科技有限公司 地址 050000 河北省石家庄市高新区长江 大道315号创新大厦23楼 A3 (72)发明人 梁书尧　刘强　孙家琛　王梓伊　 李文格　 (74)专利代理 机构 北京三聚阳光知识产权代理 有限公司 1 1250 专利代理师 柴美娟 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 一种六面检测机构及检测装置 (57)摘要 本发明提供的一种六面检测机构及检测装 置， 属于检测技术领域， 包括： 一种六面检测机 构， 包括， 支架； 搬运组件； 吸附组件， 具有第一吸 附件和第二吸附件； 检测组件具有第一检测组件 和第二检测组件； 第一检测组件与所述第一吸附 件对应设置； 第二检测组件与所述第二吸附件对 应设置。 本装置通过第一吸附件的第一工作端面 上的吸附口， 通过气压将待测芯片吸附， 第一检 测组件对待测芯片的前、 后、 左、 右和上表 面进行 检测， 第二吸附件与第二检测组件配合使用， 对 待测芯片的下表面进行检测， 第二吸附件吸附住 待测芯片上表 面， 待测芯片下表 面能够清晰完整 的展现给第二检测组件， 待测芯片的下表面也会 被清晰检测到， 保证了待测芯片检测的全面性和 准确性。 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 CN 115452859 A 2022.12.09 CN 115452859 A 1.一种六面检测机构， 其特 征在于， 包括： 支架， 设置在检测平台上； 搬运组件(1)， 与所述支 架滑动连接； 吸附组件， 具有第一吸附件(2)和第二吸附件(3)； 所述第一吸附件(2)具有吸附待测芯片的第一工作端面； 所述第一工作端面上开设有 吸附口； 所述第一吸附件(2)的内部具有用于气 体流通的第一管路， 所述第一管路与所述吸 附口连通； 所述第一吸附件(2)的吸附口朝向上 方设置； 所述第二吸附件(3)滑动设置在所述支架上； 所述第二吸附件(3)内部具有气体通过的 管路； 所述第二吸 附机构具有吸 附待测芯片的第二工作端面； 所述第二工作端面与所述第 二吸附件(3)内部的管路连通； 检测组件， 具有第一检测组件(4)和第二检测组件(5)； 所述第一检测组件(4)与所述第 一吸附件(2)对应设置； 所述第二检测组件(5)与所述第二吸附件(3)对应设置 。 2.根据权利要求1所述的六面检测机构， 其特征在于， 所述第 一工作端面小于待测芯片 表面； 所述第二工作端面小于待测芯片表面。 3.根据权利要求1所述的六面检测机构， 其特征在于， 所述第 一工作端面与 所述第二工 作端面平行。 4.根据权利 要求1所述的六面检测机构， 其特征在于， 所述第二吸附件(3)与电机(6)连 接； 所述第二吸附件(3)在所述电机(6)的带动下沿自身中心线发生 转动。 5.根据权利要求1所述的六面检测机构， 其特 征在于， 还 包括： 第一移动组件， 设置在所述第二吸附件(3)与所述支 架之间。 6.根据权利要求5所述的六面检测机构， 其特 征在于， 所述第一移动组件 包括： 第一稳定 板(7)， 与第二吸附件(3)固定连接； 第一滑动板(8)， 与所述第一稳定 板(7)滑动连接 。 7.根据权利要求6所述的六面检测机构， 其特 征在于， 所述第一移动组件 还包括： 第二稳定 板(9)， 与所述第一滑动板(8)固定连接； 第二滑动板(10)， 与所述第二稳定 板(9)滑动连接 。 8.一种检测装置， 其特 征在于， 还 包括权利要求1 ‑7任一项所述的六面检测机构。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115452859 A 2一种六面检测机构及检测装 置 技术领域 [0001]本发明涉及检测技 术领域， 具体涉及一种六面检测机构及检测装置 。 背景技术 [0002]集成电路(Integrated  Circuit， IC)， 也称微芯片、 晶片或芯片， 是一种把电路(包 括半导体设备， 也包括被动组件等)小型化的方式， 并时常制造在半导体晶圆表面。 [0003]随着半导体行业的发展， 集成电路芯片的厚度越做越薄， 芯片的加工和检测精度 越来越高。 现有的芯片在加工完成之后需要通过检测机构进行检测， 以确保芯片质量和性 能合格， 现有的检测手段通常使用机械手将待测芯片通过夹取的方式放置在待测平面上， 但是当待测芯片放置在待测平面上后， 待测芯片的下端面会被待测平面遮挡住， 现有技术 中选择将芯片放置在透明材质的待测平面上， 但是透明平台因为透光效果或者灰尘等影 响， 会增加待测芯片的下端面检测难度， 导 致待测芯片全面检测不 准确。 发明内容 [0004]因此， 本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的待测芯片全面检测不准确 的缺陷， 从而提供一种六面检测机构及检测装置 。 [0005]为解决上述 技术问题， 本发明提供的一种六面检测机构， 包括： [0006]支架， 设置在检测平台上； [0007]搬运组件， 与所述支 架滑动连接； [0008]吸附组件， 具有第一吸附件和第二吸附件； [0009]所述第一吸附件具有吸附待测芯片的第一工作端面； 所述第一工作端面上开设有 吸附口； 所述第一吸 附件的内部具有用于气体流通的第一管路， 所述第一管路与所述吸 附 口连通； 所述第一吸附件的吸附口朝向上 方设置； [0010]所述第二吸附件滑动设置在所述支架上； 所述第二吸附件内部具有气体通过的管 路； 所述第二吸 附机构具有吸 附待测芯片的第二工作端面； 所述第二工作端面与所述第二 吸附件内部的管路连通； [0011]检测组件， 具有第一检测组件和第二检测组件； 所述第一检测组件与所述第一吸 附件对应设置； 所述第二检测组件与所述第二吸附件 对应设置 。 [0012]作为优选方案， 所述第一工作端面小于待测 芯片表面； 所述第二工作端面小于待 测芯片表面。 [0013]作为优选方案， 所述第一工作端面与所述第二工作端面平行。 [0014]作为优选方案， 所述第二吸附件与电机连接； 所述第二吸附件在所述电机 的带动 下沿自身中心线发生 转动。 [0015]作为优选方案， 还 包括： [0016]第一移动组件， 设置在所述第二吸附件与所述支 架之间； [0017]作为优选方案， 所述第一移动组件 包括：说　明　书 1/5 页 3 CN 115452859 A 3