(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210888795.9 (22)申请日 2022.07.26 (71)申请人 成都贝瑞光电科技股份有限公司 地址 610000 四川省成 都市高新区科园南 路3号 (72)发明人 樊荣伟　顾元元　 (74)专利代理 机构 成都慕川专利代理事务所 (普通合伙) 51278 专利代理师 屈敏 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 一种具有高精定位五轴移动机构的精密检 测仪器 (57)摘要 本发明提供一种具有高精定位五轴移动机 构的精密检测仪器， 涉及检测仪器技术领域。 该 一种具有高精定位五轴移动机构的精密检测仪 器， 包括支撑架， 所述支撑架内部固定连接有电 控箱， 所述电控箱前端设置有对称分布的箱门， 支撑架下端四角分别固定连接有支脚， 所述支撑 架上端四角分别固定连接有阻尼隔振台， 所述阻 尼隔振台上端均固定连接在工作平台下端， 所述 工作平台上端左部固定连接有防护暗舱， 所述防 护暗舱内部设置有五轴移动机构。 通过五轴移动 机构的设置， 使通过五轴移动机构精 准调节待检 测元件与检测模块的相对位置， 达到了高精度定 位的效果， 提高了检测的精准性， 同时提高了检 测的稳定性， 增大了 检测范围。 权利要求书2页 说明书4页 附图3页 CN 115452833 A 2022.12.09 CN 115452833 A 1.一种具有高精定位五轴移动机构的精密检测仪器， 包括支撑架(1)， 其特征在于： 所 述支撑架(1)内部固定连接有电控箱(4)， 所述电控箱(4)前端设置有对称分布的箱门(5)， 支撑架(1)下端 四角分别固定连接有支脚(6)， 所述支撑架(1)上端 四角分别固定连接有阻 尼隔振台(2)， 所述阻尼隔振台(2)上端均固定连接在工作平台(3)下端， 所述工作平台(3) 上端左部固定连接有防护暗舱(7)， 所述防护暗舱(7)内部设置有五轴移动机构， 所述五轴 移动机构前端设置有检测机构， 所述防护暗舱(7)前端设置有舱门(8)， 所述工作平台(3)上 端右部设置有工控机(9)。 2.根据权利要求1所述的一种具有高精定位五轴移动机构的精密检测仪器， 其特征在 于： 所述五轴移动机构包括X轴移动平台(12)、 Z1轴移动平台(13)、 Z2轴移动平台(14)、 Y轴 移动平台(17)、 α轴水平调校台(18)、 β 轴水平调校台(19)， 所述检测机构包括二维检测模块 (15)、 三维检测模块(16)。 3.根据权利要求2所述的一种具有高精定位五轴移动机构的精密检测仪器， 其特征在 于： 所述X轴移动平台(12)后端固定连接有固定板(11)， 所述固定板(11)下壁两端分别固定 连接有支柱(10)， 所述支柱(10)下端分别固定连接在工作平台(3)上壁左后部与中后部， 所 述X轴移动平台(12)采用直线电机驱动。 4.根据权利要求2所述的一种具有高精定位五轴移动机构的精密检测仪器， 其特征在 于： 所述Z1轴移动平台(13)与Z2轴移动平台(14)后端分别固定连接在X轴移动平台(12)动 子前端左部与右部， 所述Z1轴移动平台(13)采用电动滑轨驱动， 所述Z2轴移动平台(14)采 用手动滑轨驱动。 5.根据权利要求4所述的一种具有高精定位五轴移动机构的精密检测仪器， 其特征在 于： 所述Z1轴移动平台(13)前端设置有二维检测 模块(15)， 所述Z2轴移动平台(14)前端设 置有三维检测模块(16)。 6.根据权利要求2所述的一种具有高精定位五轴移动机构的精密检测仪器， 其特征在 于： 所述Y轴移动平台(17)下端固定连接在工作平台(3)上壁左部， 所述Y轴移动平台(17)位 于X轴移动平台(12)中下 方， 所述Y轴移动平台(17)采用直线电机驱动。 7.根据权利要求6所述的一种具有高精定位五轴移动机构的精密检测仪器， 其特征在 于： 所述Y轴移动平台(17)动子上端固定连接在α轴水平调校台(18)下端， 所述α轴水平调校 台(18)上端固定连接在β 轴水平调校台(19)下端， 所述β 轴水平调校台(19)上端固定连接有 载物台(20)， 所述α 轴水平调校台(18)与β 轴水平调校台(19)均采用步进驱动器驱动。 8.根据权利要求1所述的一种具有高精定位五轴移动机构的精密检测仪器的检测步 骤， 其特征在于： 打开防护暗舱(7)的舱门(8)， 将待检测元件放置于载物台(20)， 再关闭舱门(8)， 再通 过工控机(9)内置的配套软件 对检测步骤进行控制； 通过工控机(9)发送命令给扫 描控制模块， 通过扫 描控制模块控制X轴移动平台(12)于 Y轴移动平台(17)， 是三维检测模块(16)位于待检测元件正上方， 通过三 维检测模块(16)对 待检测元件进 行扫描， 扫描后的图像数据通过采集模块返回给工控机(9)， 经过软件计算后 判断待检测元件的水平度， 再通过控制模块控制α轴水平调校台(18)与β 轴水平调校台(19) 调整两个方向的水平度， 使检测元件的水平面与三维检测模块(16)的检测水平面平行； 水平调节后进行采样测试， 通过扫描控制模块控制X轴移动平台( 12)、 Y轴移动平台权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115452833 A 2(17)、 Z1轴移动平台使二维检测模块(15)与三维检测模块(16)对待检测元件表面进行扫 描， 后通过采集模块采集光源功率、 曝光时间、 增益时间、 测试图像数据等返回工控机(9)， 通过软件计算后对各项参数进 行调整， 如： 通过光源控制器对光源强度进 行调整， 通过采集 到的元件尺寸对扫描范围进行调整等； 采样测试后即可开始对待检测元件表面进行检测， 即通过扫描控制模块控制X轴移动 平台(12)、 Y轴移动平台(17)、 Z1轴移动平台使二维检测模块(15)与三维检测模块(16)对待 检测元件表 面进行扫描， 扫描后的图像数据通过采集模块返回给工控机(9)， 通过多算法融 合、 误差补偿、 特征变换算法等图像处理技术， 完成疵病图像的快速分析处理， 以此完成对 待检测元件表面疵病的检测。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115452833 A 3