(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111652575.8 (22)申请日 2021.12.3 0 (71)申请人 西安奕斯伟材 料科技有限公司 地址 710000 陕西省西安市高新区西沣南 路1888号1-3-029室 申请人 西安奕斯伟设备技 术有限公司 (72)发明人 薛兵　韩建峰　 (74)专利代理 机构 北京银龙知识产权代理有限 公司 11243 代理人 顾春天 (51)Int.Cl. G06T 7/00(2017.01) G06T 7/13(2017.01) G06T 5/00(2006.01) (54)发明名称 一种晶圆中金属离子分布识别方法、 装置、 电子设备和可读存 储介质 (57)摘要 本发明提供一种晶圆中金属离子分布识别 方法、 装置、 电子设备和可读存储介。 晶圆中金属 离子分布识别方法包括以下步骤： 获取晶圆的灰 度图像； 根据所述灰度图像提取所述晶圆的N条 灰度曲线， 其中， 所述晶圆由N个子区域构成， N为 大于1的整数， 所述子区域的形状为与所述晶圆 的半径相同的扇形， 且所述子区域的圆心和所述 晶圆的圆心重合， 每一所述灰度曲线对应一个所 述子区域， 且 所述灰度曲线反应所述子区域沿半 径方向的灰度变化； 叠加所述灰度曲线获得所述 晶圆的累加灰度曲线； 检测所述累加灰度曲线的 波峰， 其中， 所述累加灰度曲线的波峰对应所述 晶圆中的金属离子分布环。 本发 明实施例能够提 高金属离 子分布情况的评估的准确性和一 致性。 权利要求书2页 说明书7页 附图4页 CN 114332031 A 2022.04.12 CN 114332031 A 1.一种晶圆中金属离 子分布识别方法， 其特 征在于， 包括以下步骤： 获取晶圆的灰度图像； 根据所述灰度图像提取所述晶圆的N条灰度曲线， 其中， 所述晶圆由N个子区域构成， N 为大于1的整 数， 所述子区域的形状为与所述晶圆的半径相同的扇形， 且所述子区域的圆心 和所述晶圆的圆心重合， 每一所述灰度曲线对应一个所述子区域， 且所述灰度曲线反应所 述子区域沿半径方向的灰度变化； 叠加所述灰度曲线获得 所述晶圆的累加灰度曲线； 检测所述累加灰度曲线的波峰， 其中， 所述累加灰度曲线的波峰对应所述晶圆中的金 属离子分布环。 2.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述获取晶圆的灰度图像之后， 所述方法 还包括： 识别所述灰度图像中所述晶圆的边 缘点； 根据所述 边缘点拟合所述灰度图像中的 晶圆所对应的区域。 3.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 根据所述灰度图像提取所述晶圆的N条灰 度曲线， 包括： 在第n个子区域内， 沿着所述子区域的半径方向， 获取各像素点的灰阶值以及所述像素 点与所述子区域的圆心之间的距离， 其中， n 为大于或等于1且小于N的整数； 以所述像素点与所述子区域的圆心之间的距离为第 一维度的坐标， 以所述像素点的灰 阶值为第二维度的坐标绘制第n个子区域的灰度曲线； 遍历所述N个子区域， 获得与所述N个子区域对应的N条灰度曲线， 其中， 位于相邻两个 子区域的边界上的点的灰阶值包 含于至多一条 所述灰度曲线。 4.根据权利要求3所述的方法， 其特征在于， 叠加所述灰度曲线获得所述晶圆的累加灰 度曲线， 包括： 以所述第 一维度的坐标为基准， 将所述N条灰度曲线的第 二维度的坐标值叠加， 获得累 加灰度曲线。 5.根据权利要求 4所述的方法， 其特 征在于， 检测所述累加灰度曲线的波峰， 包括： 检测所述累加灰度曲线中， 第二维度的坐标值大于预设坐标阈值的目标坐标区间； 根据所述目标坐标区间的宽度以确定所述波峰对应的金属离 子分布环的位置 。 6.根据权利要求1所述的方法， 其特 征在于， 所述获取晶圆的灰度图像， 包括： 通过图像采集装置以垂直于所述晶圆的表面的角度采集所述晶圆的第一图像； 将所述第一图像转换为二值化的灰度图像， 其中， 所述第一图像中灰阶值大于预设灰 阶值的像素被转换为第一灰阶值的像素， 所述第一图像中灰阶值不大于所述预设灰阶值的 像素被转换为第二灰阶值的像素， 所述第一灰阶值大于所述第二灰阶值。 7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法， 其特征在于， 所述累加灰度曲线的波峰的 宽度对应所述金属离子 分布环沿所述晶圆半径方向的宽度， 所述波峰的高度对应所述金属 离子分布环中的金属离 子最大聚集度。 8.一种晶圆中金属离 子分布识别装置， 其特 征在于， 包括： 灰度图像获取模块， 用于获取晶圆的灰度图像； 灰度曲线提取模块， 用于根据所述灰度图像提取所述晶圆的N条灰度曲线， 其中， 所述权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114332031 A 2晶圆由N个子区域构成， N为大于1的整 数， 所述子区域的形状为与所述晶圆的半径相同的扇 形， 且所述子区域的圆心和所述晶圆的圆心重合， 每一所述灰度曲线对应一个所述子区域， 且所述灰度曲线反应所述子区域沿半径方向的灰度变化； 叠加模块， 用于 叠加所述灰度曲线获得 所述晶圆的累加灰度曲线； 波峰检测模块， 用于检测所述累加灰度曲线的波峰， 其中， 所述累加灰度曲线的波峰对 应所述晶圆中的金属离 子分布环。 9.一种电子设备， 包括： 存储器、 处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运 行的程序； 其特征在于， 所述处理器， 用于读取存储器中的程序实现如权利要求 1至7中任一 项所述的 晶圆中金属离 子分布识别方法中的步骤。 10.一种可读存储介质， 用于存储程序， 其特征在于， 所述程序被处理器执行时实现如 权利要求1至7中任一项所述的 晶圆中金属离 子分布识别方法中的步骤。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114332031 A 3