(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123334384.5 (22)申请日 2021.12.28 (73)专利权人 上海磐云科技有限公司 地址 201108 上海市闵行区申旺路789号 （临） 4幢4楼428室 (72)发明人 陈然　郑亮华　莫天明　 (74)专利代理 机构 上海茸恒专利代理事务所 (特殊普通 合伙) 31408 专利代理师 滕延庆 (51)Int.Cl. B65G 47/90(2006.01) (54)实用新型名称 一种双工位硅片自动清洗工作站的上料结 构 (57)摘要 本实用新型提供一种双工位硅片自动清洗 工作站的上料结构， 包括机架、 设置在机架前侧 的第一分片 装置和第二分片 装置、 设置在机架中 间的第一上料装置和第二上料装置、 设置在第一 上料装置和第二上料装置上侧的第一搬运装置 和设置在机架后侧的第二搬运装置， 所述第一分 片装置和第一上料装置相连接， 所述第二分片 装 置和第二上料装置相连接， 所述第一搬运装置将 第一上料装置和第二上料装置内的硅片搬运到 中转工位， 所述第二搬运装置将中转工位内的硅 片搬运到机架后侧的清洗工位内， 该装置利用三 轴线性模组结合搬运夹爪实现硅片的自动上料， 整体结构 简单， 且全部自动化， 减少了人工 。 权利要求书1页 说明书3页 附图5页 CN 217322286 U 2022.08.30 CN 217322286 U 1.一种双工位硅片 自动清洗工作站的上料结构， 其特征在于： 包括机架(1)、 设置在机 架(1)前侧的第一分片装置(2)和第二分片装置(3)、 设置在机架(1)中间的第一上料装置 (4)和第二上料装置(5)、 设置在第一上料装置(4)和第二上料装置(5)上侧的第一搬运装置 (6)和设置在机架(1)后侧的第二搬运装置(7)， 所述第一分片装置(2)和第一上料装置(4) 相连接， 所述第二分片装置(3)和第二上料装置(5)相连接， 所述第一搬运装置(6)将第一上 料装置(4)和第二上料装置(5)内的硅片搬运到中转工位(8)， 所述第二搬运装置(7)将中转 工位(8)内的硅片搬运到 机架(1)后侧的清洗 工位(9)内。 2.根据权利要求1所述的一种双工位硅片自动清洗工作站的上料结构， 其特征在于： 所 述第一上料装置(4)包括第一Z轴线性模组(41)， 所述第一Z轴线性模组(41)的滑块与第一 硅片托架固定架(42)固定连接， 所述第一硅片托架固定架(42)顶端固定有第一硅片托架定 位夹爪(43)， 所述第一硅片托架固定架(42)内设置有第一硅片托架(4 4)。 3.根据权利要求2所述的一种双工位硅片自动清洗工作站的上料结构， 其特征在于： 所 述第二上料装置(5)包括第二Z轴线性模组(51)， 所述第二Z轴线性模组(51)的滑块与第二 硅片托架固定架(52)固定连接， 所述第二硅片托架固定架(52)顶端固定有第二硅片托架定 位夹爪(5 3)， 所述第二硅片托架固定架(52)内设置有第二硅片托架(54)。 4.根据权利要求3所述的一种双工位硅片自动清洗工作站的上料结构， 其特征在于： 所 述中转工位(8)包括第一固定架(81)、 第二固定架(82)和中转气缸(83)， 所述中转气缸(83) 的活塞杆与第一固定架(81)固定连接 。 5.根据权利要求4所述的一种双工位硅片自动清洗工作站的上料结构， 其特征在于： 所 述第一搬运装置(6)包括第一X轴线性模组(61)， 所述第一X轴线性模组(61)的滑块与第一 搬运夹爪(62)和第二搬运夹爪(6 3)固定连接 。 6.根据权利要求5所述的一种双工位硅片自动清洗工作站的上料结构， 其特征在于： 所 述第二搬运装置(7)包括第二X轴线性模组(71)， 所述第二X轴线性模组(71)的滑 块与第三Z 轴线性模组(72)固定连接， 所述第三Z轴线性模组(72)的滑块与第三搬运夹爪(73)固定连 接， 所述第二X轴线性模组(71)的转轴 两端均固定有齿轮(74)， 所述齿轮(74)与机架(1)上 固定的Y轴齿条(75)相啮合。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217322286 U 2一种双工位硅片自动清洗工作站的上料 结构 技术领域 [0001]本实用新型涉及自动化设备技术领域， 具体为一种双工位硅片自动清洗工作站的 上料结构。 背景技术 [0002]在太阳能硅 晶片的自动加工设备中， 需要对硅片进行清洗， 以满足硅片在不 同工 序之间的操作要求， 目前的清洗工作， 多为人工将叠在一起的硅片分开， 然后再移动到清洗 池中清洗， 这样浪费大量人工， 硅片也会因操作不当， 造成损毁的情况。 实用新型内容 [0003]为解决背景技术提出的上述问题， 本实用新型提出一种双工位硅片自动清洗工作 站的上料结构。 [0004]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种双工位硅片自动清洗工作 站的上料结构， 包括机架、 设置在机架前侧的第一分片装置和 第二分片装置、 设置在机架中 间的第一上料装置和 第二上料装置、 设置在第一上料装置和 第二上料装置上侧的第一搬运 装置和设置在机架后侧的第二搬运装置， 所述第一分片装置和第一上料装置相连接， 所述 第二分片装置和 第二上料装置相连接， 所述第一搬运装置将第一上料装置和 第二上料装置 内的硅片搬运到中转工位， 所述第二搬运装置将中转工位内的硅片搬运到机架后侧的清洗 工位内。 [0005]优选的， 所述第一上料装置包括第一Z轴线性模组， 所述第一Z轴线性模组的滑块 与第一硅片托架固定架固定连接， 所述第一硅片托架固定架顶端固定有第一硅片托架定位 夹爪， 所述第一硅片托架固定架内设置有第一硅片托架。 [0006]优选的， 所述第二上料装置包括第二Z轴线性模组， 所述第二Z轴线性模组的滑块 与第二硅片托架固定架固定连接， 所述第二硅片托架固定架顶端固定有第二硅片托架定位 夹爪， 所述第二硅片托架固定架内设置有第二硅片托架。 [0007]优选的， 所述中转工位包括第一固定架、 第二固定架和中转气缸， 所述中转气缸的 活塞杆与第一固定架固定连接 。 [0008]优选的， 所述第一搬运装置包括第一X轴线性模组， 所述第一X轴线性模组的滑块 与第一搬运夹爪和第二搬运夹爪固定连接 。 [0009]优选的， 所述第二搬运装置包括第二X轴线性模组， 所述第二X轴线性模组的滑块 与第三Z轴线性模组固定连接， 所述第三Z轴线性模组的滑块与第三搬运夹爪固定连接， 所 述第二X轴线性模组的转轴两端均固定有 齿轮， 所述齿轮与机架上固定的Y轴齿条相啮合。 [0010]与现有技 术相比， 本实用新型的有益效果如下： [0011]本实用新型提供的双工位硅片自动 清洗工作站的上料结构， 利用三轴线性模组结 合搬运夹爪实现硅片的自动上 料， 整体结构 简单， 且全部自动化， 减少了人工 。说　明　书 1/3 页 3 CN 217322286 U 3