(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123202080.3 (22)申请日 2021.12.17 (73)专利权人 昆山超瀚电子科技有限公司 地址 215313 江苏省苏州市昆山市周市镇 陆杨杜家路316号 (72)发明人 李建华　方玉龙　陶建荣　 (74)专利代理 机构 东莞市卓易专利代理事务所 (普通合伙) 44777 专利代理师 陈能春 (51)Int.Cl. B08B 1/02(2006.01) B08B 3/04(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 13/00(2006.01) B07C 5/34(2006.01)B07C 5/38(2006.01) F26B 5/08(2006.01) B65G 47/82(2006.01) B65G 47/90(2006.01) B65G 59/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆贴片环自动化清洗 机 (57)摘要 本实用新型公开一种晶圆贴片环自动化清 洗机， 包括机架、 进料组件、 取料组件、 去胶清洗 组件、 纯水清洗组件、 干燥组件、 下料组件； 所述 进料组件包括顶 推组件和储料盒； 所述储料盒包 括安装于安装底板上表面的储料底板和安装于 储料底板 上的侧板， 所述储料盒内形成贴片环的 存放空间； 所述顶推组件包括 驱动皮带A、 驱动电 机A、 丝杠、 推杆、 推板， 所述驱动电机A的输出轴 下端、 丝杠的下端分别安装有齿轮， 所述驱动皮 带A分别套装于两齿轮的外周并与该两齿轮啮 合； 可实现对贴片环的储料、 上料、 去胶清洗、 纯 水清洗、 贴片环表面干燥、 下料工序等功能， 满足 自动化生产的需求， 生产效率较高。 权利要求书2页 说明书6页 附图7页 CN 216728405 U 2022.06.14 CN 216728405 U 1.一种晶圆贴片环自动化清洗机， 其特征在于： 包括机架(7)、 进料组件(1)、 取料组件 (2)、 去胶清洗组件(3)、 纯 水清洗组件(4)、 干燥组件(5)、 下 料组件(6)； 所述机架(7)内水平固设一 块安装底板， 将其内空间分割为上空间、 下空间； 所述进料组件(1)包括顶推组件和储料盒； 所述储料盒包括安装于安装底板上表面的 储料底板(1 ‑8)和安装于储料底板(1 ‑8)上的侧板(1 ‑7)， 所述储料盒内形成贴片环的存放 空间； 所述顶推组件包括驱动皮带A(1 ‑1)、 驱动电机A(1 ‑2)、 丝杠(1 ‑3)、 推杆(1 ‑5)、 推板 (1‑6)， 所述驱动电机A(1 ‑2)的输出轴下端、 丝杠(1 ‑3)的下端分别安装有齿轮， 所述 驱动皮 带A(1‑1)分别套装于两齿轮的外周并与该两齿轮啮合； 所述丝杠(1 ‑3)中部水平套装有一 固定底板， 且所述丝杠(1 ‑3)与所述固定底板的连接处套装有一丝杠套筒(1 ‑4)； 所述固定 底板上垂直安装若干推杆(1 ‑5)， 且推杆(1 ‑5)的上端穿过所述安装底板、 储 料底板(1 ‑8)后 水平安装一 块推板(1 ‑6)； 所述取料组件(2)包括若干翘 曲度测量仪(2 ‑1)、 直线导轨A(2 ‑2)、 拨手(2 ‑3)、 停放板 (2‑4)、 次品盒(2 ‑5)； 沿上料方向， 所述储料盒、 停放板(2 ‑4)、 次品盒(2 ‑5)依次固设于机架 (7)内； 所述直线导轨A(2 ‑2)安装于机架(7)内， 所述拨手(2 ‑3)的一端可滑动式安装于所述 直线导轨A(2 ‑2)上， 且所述拨手(2 ‑3)可将储料盒内最上层贴片环拨至所述停放板(2 ‑4) 上； 所述翘曲度测量仪(2 ‑1)通过支 架安装于储料盒和停放板(2 ‑4)相邻处的正上 方； 所述去胶清洗组件(3)包括抓手A、 化胶 溶液储存系统和无盖的化胶溶液槽(3 ‑1)； 所述 化胶溶液槽(3 ‑1)安装于安装底板上且位于停 放板(2‑4)的成品出料端， 其内依次间隔安装 有若干隔片(3 ‑2)； 所述化胶溶液储存系统安装于所述机架(7)的下空间， 且所述化胶溶液 储存系统、 化胶溶液槽(3 ‑1)中的清洗液通过抽水泵进行来回运送； 所述抓手A安装于所述 机架(7)的上空间， 用于 夹取停放板(2 ‑4)上的贴片环至化胶溶 液槽(3‑1)内； 所述纯水清洗组件(4)包括抓手B、 清水储存系统和无盖的清水槽(4 ‑1)； 所述清水储存 系统安装于所述机架(7)的下空间， 且所述清水储存系统、 清水槽(4 ‑1)中的清洗液通过抽 水泵进行来回运送； 所述抓手B安装于所述机架(7)的上 空间， 用于夹取隔片(3 ‑2)间的贴片 环至清水槽(4 ‑1)内清洗， 再将清洗后的贴片环运送至干燥组件(5)上进行除水干燥处理 后， 所述下 料组件(6)通过抓手C将清洗 完毕的贴片环存放于收集箱内。 2.根据权利要求1所述的晶圆贴片环自动化清洗机， 其特征在于： 所述拨手(2 ‑3)包括 连接臂、 驱动气缸和拨块(2 ‑6)； 所述连接臂的一端可滑动式安装于所述直线导轨A(2 ‑2)上； 所述驱动气缸安装于所述 连接臂的中部； 所述拨块(2 ‑6)为块状结构， 且拨块(2 ‑6)的下方一侧为缺口(2 ‑7)； 所述拨 块(2‑6)安装于所述驱动气缸的推杆端头， 且缺口(2 ‑7)朝向次品盒(2 ‑5)侧。 3.根据权利要求1所述的晶圆贴片环自动化清洗机， 其特征在于： 所述抓手B包括直线 导轨B(4‑3)、 直线导轨C(4 ‑4)和用于夹取贴片环的夹爪(4 ‑5)； 所述直线导轨B(4 ‑3)水平安 装于所述机架(7)的上 空间内； 所述直线导轨C(4 ‑4)垂直安装于所述直线导轨B(4 ‑3)上， 并 可沿所述直线导轨B(4 ‑3)做水平滑动式移动； 所述夹爪(4 ‑5)安装于所述直线导轨C(4 ‑4) 上， 并可沿所述 直线导轨 C(4‑4)做上下滑动式移动。 4.根据权利要求3所述的晶圆贴片环自动化清洗机， 其特征在于： 所述纯水清洗组件 (4)还包括支撑架； 所述支撑架 安装于清水槽(4 ‑1)中， 用于承托抓手B从前道工序抓取来的 贴片环。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 216728405 U 25.根据权利要求4所述的晶圆贴片环自动化清洗机， 其特征在于： 所述纯水清洗组件 (4)还包括两组毛刷清洗组件(4 ‑2)； 每组毛刷清洗组件(4 ‑2)分别包括4个呈上下两排排列 的清洗毛刷， 且上下两排间形成贴片环的清洗通道； 所述清洗毛刷的转轴与驱动电机C的转 轴同轴连接； 于清水槽(4 ‑1)中靠近干燥组件(5)的一侧， 两组毛刷清洗组件(4 ‑2)分别安装于清水 槽(4‑1)的前后侧壁上， 且清洗毛刷位于清水槽(4 ‑1)内、 驱动电机C位于清水槽(4 ‑1)外； 两 组毛刷清洗组件(4 ‑2)间形成夹爪(4 ‑5)的移动通道。 6.根据权利要求1所述的晶圆贴片环自动化清洗机， 其特征在于： 所述干燥组件(5)包 括无盖的干燥盒、 十 字固定架(5 ‑1)、 驱动电机B(5 ‑2)、 驱动皮带B(5 ‑3)； 所述干燥盒安装于安装底板上； 所述驱动电机B(5 ‑2)的输出轴安装有齿轮； 所述十字 固定架(5 ‑1)的下方安装有 连接杆， 且 所述连接杆的下端安装有齿轮； 所述 驱动皮带B(5 ‑3) 分别套装于驱动电机B(5 ‑2)、 连接杆上的齿轮外侧， 并与其 啮合连接； 所述连接杆的中部套 装有轴承， 且所述轴承与安装于 干燥盒内的安装架固定连接 。 7.根据权利要求1所述的晶圆贴片环自动化清洗机， 其特征在于： 所述下料组件(6)包 括直线导轨D(6 ‑3)、 直线导轨 E(6‑1)和用于 夹取贴片环的吸爪(6 ‑2)； 所述直线导轨D(6 ‑3)水平安装于所述机架(7)的上空间内； 所述直线导轨E(6 ‑1)垂直 安装于所述直线导轨D(6 ‑3)上， 并可沿所述直线导轨D(6 ‑3)做水平滑动式移动； 所述吸爪 (6‑2)安装于所述 直线导轨 E(6‑1)上， 并可沿所述 直线导轨 E(6‑1)做上下滑动式移动。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 216728405 U 3