(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111582874.9 (22)申请日 2021.12.2 2 (71)申请人 筏渡 （上海） 科技有限公司 地址 200090 上海市杨 浦区长阳路1687号 东1223幢 （A楼） 三层A3 07 (72)发明人 易丛文　徐文丞　林孟喆　 (74)专利代理 机构 北京亿腾知识产权代理事务 所(普通合伙) 11309 代理人 陈霁　周良玉 (51)Int.Cl. G06Q 10/06(2012.01) G06Q 50/04(2012.01) G06N 20/00(2019.01) G06F 21/62(2013.01) (54)发明名称 基于迁移学习的工艺制程调试方法和装置 (57)摘要 本说明书实施例提供了一种基于迁移学习 的工艺制程调试方法和装置。 该方法的一具体实 施方式包括： 获取材料供应方已训练的机器学习 模型， 其中， 机器学习模型的模型参数包括针对 各生产调试参数的第一权重因子； 根据客户方的 调试数据， 构建训练样本集， 其中， 训练样本集中 的训练样 本包括生产调试参数和产品性能参数； 基于训练样 本集， 对机器学习模 型进行进一步训 练， 得到针对各生产调试参数的第二权重因子； 根据各生产调试参数的第一权重因子与第二权 重因子， 从生产调试参数中确定生产调试参数作 为待调试参数； 将待调试参数发送给材料供应 方， 以供材料供应方基于待调试参数对生产工艺 制程进行调试。 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 CN 114254934 A 2022.03.29 CN 114254934 A 1.一种基于 迁移学习的工艺制程调试 方法， 包括： 获取材料供应方已训练的机器学习模型， 其中， 所述机器学习模型用于表征目标材料 的生产工艺制程中的生产调试参数与产品性能参数的函数关系， 所述机器学习模型的模型 参数包括针对各生产调试参数的第一权 重因子； 根据客户方的调试数据， 构建训练样本集， 其中， 所述训练样本集中的训练样本包括生 产调试参数和产品性能参数； 基于所述训练样本集， 对所述机器学习模型进行进一步训练， 得到针对各生产调试参 数的第二权 重因子； 根据各生产调试参数的第 一权重因子与第 二权重因子， 从生产调试参数中确定生产调 试参数作为待调试参数； 将所述待调试参数发送给所述材料供应方， 以供所述材料供应方基于所述待调试参数 对所述生产工艺制程进行调试。 2.根据权利要求1所述的方法， 其中， 所述基于所述训练样本集， 对所述机器学习模型 进行进一 步训练， 得到针对各生产调试参数的第二权 重因子， 包括： 对于每一个生产调试参数， 将该生产调试参数作为目标生产调试参数， 以及设置除所 述目标生产调试参数之外的其它生产调试参数的第一权 重因子不变； 基于所述训练样本集对所述机器学习模型进行 再训练， 得到训练后模型； 根据所述训练后模型的参数， 确定所述目标生产调试参数的第二权 重因子。 3.根据权利要求1所述的方法， 其中， 所述根据各生产调试参数的第 一权重因子与第 二 权重因子， 从生产调试参数中确定生产调试参数作为待调试参数， 包括： 对于每一个生产调试参数， 确定该生产调试参数对应的第 一权重因子与第 二权重因子 的差异信息； 基于差异信息， 从生产调试参数中确定 至少一个生产调试参数作为待调试参数。 4.根据权利要求3所述的方法， 其中， 所述基于差异信息， 从生产调试参数中确定至少 一个生产调试参数作为待调试参数， 包括： 根据各生产调试参数对应的差异信息， 对生产调试参数进行排序； 基于所述 排序结果， 从生产调试参数中确定 至少一个生产调试参数作为待调试参数。 5.根据权利要求 4所述的方法， 其中， 所述方法还 包括： 将所述排序结果进行显示， 以供用户查看； 以及 所述基于所述排序结果， 从生产调试参数中确定至少一个生产调试参数作为待调试参 数， 包括： 接收所述用户基于所述 排序结果输入的参数筛 选信息； 根据所述参数筛选信 息， 从生产调试参数中确定至少一个生产调试参数作为待调试参 数。 6.根据权利要求4所述的方法， 其中， 所述排序为按对应差异信 息由大到小的顺序进行 排序； 以及 所述基于所述排序结果， 从生产调试参数中确定至少一个生产调试参数作为待调试参 数， 包括： 将所述排序结果中排在前 预设位的生产调试参数， 确定为待调试参数。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114254934 A 27.根据权利要求1所述的方法， 其中， 所述 生产调试参数包括材 料组分和使用条件。 8.根据权利要求1所述的方法， 其中， 所述目标材料为光刻胶， 所述生产调试参数包括 材料组分、 光刻胶的涂布旋转速度和光照计量， 所述产品性能参数包括关键尺寸、 厚度、 高 宽比。 9.一种基于 迁移学习的工艺制程调试装置， 包括： 获取单元， 配置为获取材料供应方已训练 的机器学习模型， 其中， 所述机器学习模型用 于表征目标材料的生产工艺制程中的生产调试参数与产品性能参数的函数关系， 所述机器 学习模型的模型参数包括针对各生产调试参数的第一权 重因子； 构建单元， 配置为根据客户方的调试数据， 构建训练样本集， 其中， 所述训练样本集中 的训练样本包括 生产调试参数和产品性能参数； 训练单元， 配置为基于所述训练样本集， 对所述机器学习模型进行进一步训练， 得到针 对各生产调试参数的第二权 重因子； 确定单元， 配置为根据各生产调试参数的第一权重因子与第二权重因子， 从生产调试 参数中确定生产调试参数作为待调试参数； 发送单元， 配置为将所述待调试参数发送给所述材料供应方， 以供所述材料供应方基 于所述待调试参数对所述 生产工艺制程进行调试。 10.一种计算设备， 包括存储器和 处理器， 其特征在于， 所述存储器中存储有可执行代 码， 所述处 理器执行所述可执行代码时， 实现权利要求1 ‑8中任一项所述的方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114254934 A 3