ICS 31.080.99 CCS L 90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T43493.1—2023/IEC63068-1:2019 半导体器件功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据第1部分：缺陷分类 Semiconductor device-Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices-Part 1:Classification of defects （IEC63068-1:2019,IDT) 2023-12-28发布 2024-07-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会

GB-T 43493.1-2023 半导体器件功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据第1部分：缺陷分类

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GB-T 43493.1-2023 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第1部分：缺陷分类

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