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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222339979.8 (22)申请日 2022.09.03 (73)专利权人 合肥长天化学技 术有限公司 地址 230001 安徽省合肥市肥东县梁园镇 合肥上海产业园原路口政 府大院内 (72)发明人 谢长义  (74)专利代理 机构 深圳博敖专利代理事务所 (普通合伙) 44884 专利代理师 杨金花 (51)Int.Cl. B01F 27/906(2022.01) B01F 35/71(2022.01) (54)实用新型名称 一种晶圆切割清洗液加工用混合装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶圆切割清洗液加 工用混合装置, 包括筒体、 六个对称设置的喷淋 机构、 顶盖、 混合机构、 注料口和卸料口; 本实用 新型在注料口和喷淋机构的配合下能够实现固 态原料和液态原料的分开注入目的, 不会造成堵 塞的现象, 从而不会影 响到实际的加工效果和加 工质量, 实用性强, 使用效果佳; 启 动电机, 能够 带动连接柱做圆周运动, 从而能够带动其圆周表 面的横板转动, 进而能够带动搅拌板做圆周运 动, 从而能够实现原料的搅拌混合目的, 通过设 置支撑柱则能够保证连接柱的支撑稳定性, 支撑 柱的下端安装有轴承, 轴承设置在筒体的内底 壁, 通过设置轴承能够保证支撑柱的安装稳定 性, 且不会影响到支撑柱的使用效果。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 217989083 U 2022.12.09 CN 217989083 U 1.一种晶圆切割清洗液加工用混合装置, 包括筒体(1), 其特 征在于, 还 包括: 六个对称设置的喷淋机构(3): 六个所述喷淋机构(3)关于所述筒体(1)的圆心呈圆周 对称设置, 每个所述喷淋机构(3)包括连接管(301), 所述连接管(301)的输入端 连接有料仓 (302), 每个所述料仓(302)的内端面均匀安装有十四个注料管(303), 每个所述注料管 (303)的输出端均安装有料嘴(3 04); 顶盖(4): 所述顶盖(4)可拆卸安装在所述筒体(1)内壁的顶部; 混合机构(5): 所述混合机构(5)包括电机(501), 所述电机(501)的电机轴下端可拆卸 安装有连接柱(502), 所述连接柱(502)的圆周表面安装有多个横板(503), 每个所述横板 (503)的上端面和下端面均安装有多个搅拌板(504), 所述连接柱(502)的下端面安装有支 撑柱(505); 多个注料口(6): 多个所述注料口(6)安装在所述顶盖(4)的内部, 且多个所述注料口 (6)的下端均延伸至所述顶盖(4)的下端; 多个卸料口(7): 多个所述卸料口(7)安装在所述筒体(1)侧壁的偏下部 。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割清洗液加工用混合装置, 其特征在于: 所述筒体 (1)的下端面 安装有两个对称设置且为工 字型结构的支脚(2)。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割清洗液加工用混合装置, 其特征在于: 每个所述 连接管(3 01)的输入端均连接有输料 管道。 4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割清洗液加工用混合装置, 其特征在于: 所述筒体 (1)的圆周侧壁 开设有卡槽, 所述料仓(3 02)的内端面 安装在卡槽内。 5.根据权利要求1所述的一种晶圆切割清洗液加工用混合装置, 其特征在于: 所述支撑 柱(505)的下端安装有轴承(5 06), 所述轴承(5 06)设置在所述筒体(1)的内底壁。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割清洗液加工用混合装置, 其特征在于: 所述顶盖 (4)的中心处开设有与所述电机(5 01)外径过盈配合的通 孔, 所述电机(5 01)安装在通 孔内。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 217989083 U 2一种晶圆切割清洗液加工用混合装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于清洗液加工设备技术领域, 具体涉及一种晶圆切割清洗液加工用 混合装置 。 背景技术 [0002]清洗剂是一个很大的范畴, 种类繁多, 包括无机清洗和有机清洗两大类, 有机清洗 剂与无机清洗剂的区别简单地说, 有机清洗剂就是含碳的化合物制成的清洗剂, 无机清洗 剂就是不含碳的化合物制成的清洗剂, 因此它们属于无机物。 清洗剂的分类方法也很多, 各 国都不尽相同, 我们通常 分成水系, 半水系 、 非水系清洗剂三大类。 [0003]清洗剂在进行加工时, 需要利用混合装置将混合后的多种溶剂进行搅拌, 然而市 面上各种的混合装置仍存在各种各样的问题, 如现有技术中的需要将混合后的多种溶剂进 行搅拌, 在进 行注料时, 固态和液态的原料在注料口易造成堵塞的现象, 从而对实际的混合 效果和混合质量有较大的影响, 具有一定的局限性, 为此, 我们提出一种晶圆切割清洗液加 工用混合装置 。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种晶圆切割清洗液加工用混合装置, 以解决上述背 景技术中提出的问题。 [0005]为实现上述目的, 本实用新型提供如下技术方案: 一种晶圆切割清洗液加工用混 合装置, 包括筒体, 还 包括: [0006]六个对称设置的喷淋机构: 六个所述喷淋机构关于所述筒体的圆心呈圆周对称设 置, 每个所述喷淋机构包括连接管, 所述连接管的输入端连接有 料仓, 每个所述料仓的内端 面均匀安装有十四个注料 管, 每个所述注料 管的输出端均安装有料嘴; [0007]顶盖: 所述顶盖可拆卸安装在所述筒体内壁的顶部; [0008]混合机构: 所述混合机构包括电机, 所述电机的电机轴下端可拆卸安装有连接柱, 所述连接柱的圆周表面安装有多个横板, 每个所述横板的上端面和下端面均安装有多个搅 拌板, 所述连接柱的下端面 安装有支撑柱; [0009]多个注料口: 多个所述注料口安装在所述顶盖 的内部, 且多个所述注料口的下端 均延伸至所述顶盖的下端; [0010]多个卸料口: 多个所述卸料口安装在所述筒体侧壁的偏下部 。 [0011]优选的, 所述筒体的下端面 安装有两个对称设置且为工 字型结构的支脚。 [0012]优选的, 每 个所述连接管的输入端均连接有输料 管道。 [0013]优选的, 所述筒体的圆周侧壁 开设有卡槽, 所述料仓的内端面 安装在卡槽内。 [0014]优选的, 所述支撑柱的下端安装有轴承, 所述轴承设置在所述筒体的内底壁。 [0015]优选的, 所述顶盖 的中心处开设有与所述电机外径过盈配合的通孔, 所述电机安 装在通孔内。说 明 书 1/3 页 3 CN 217989083 U 3

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